Silicon Parts
クアーズテック合同会社

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この製品について

■用途各種半導体プロセス用ウェーハキャリア／アジャスター

■材料高純度シリコン単結晶

■機能・特徴・高純度
・表面ダメージを酸エッチングにより除去
・使用時のパーティクル発生リスクが非常に低い
・大型品が可能 (～φ580mm)

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商品画像	品番	価格 (税抜)	かさ密度 g/cm3	曲げ強さ室温 MPa	ヤング率 GPa	ポアソン比	ビッカース硬度 GPa	線膨張係数 x10^-6/K	熱伝導度室温 W/ (m・K)	最高使用温度 ℃	体積抵抗率 (室温) Ω・cm
	Silicon Susceptors	要見積もり	2.33	~300	190	0.27	10.6	3.9 (室温~1,000℃)	157	1,300	2.4x10^4

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会社概要

クアーズテックグループは、110年以上にわたり、常に移り変わるテクニカルセラミックスの最先端を切り開いてきました。またその事業領域もエネルギーや半導体、医療のみならず、機械、食品・農業、輸送、航空宇宙・防衛分野など多岐に...