Alumina Plasma Etcher Parts
クアーズテック合同会社

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この製品について

■用途プラズマエッチングプロセス用部材

■材料高純度透光性アルミナSAPPHAL®

■機能・特徴・高純度 (99.9％以上) 
・結晶粒径が大きく透光性を有する
・優れた電気的特性 (LLT) 

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商品画像	品番	価格 (税抜)	かさ密度 g/cm3	曲げ強さ室温 MPa	ヤング率 GPa	ポアソン比	ビッカース硬度 GPa	破壊靭性値 MPa・m1/2	線膨張係数 x10^-6/K	熱伝導度室温 W/ (m・K)	熱伝導度高温 W/ (m・K)	耐熱衝撃性⊿Tc ℃	最高使用温度 ℃	体積抵抗率 (室温) Ω・cm	比誘電率	誘電正接
	Alumina Plasma Etcher Parts	要見積もり	3.99	300	395	0.23	17.7	4	8 (室温~900℃)	35	9 (1,000℃)	200	1,800	10^17	10.1 (10 GHz)	1.0x10^-4 (10 GHz)

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会社概要

クアーズテックグループは、110年以上にわたり、常に移り変わるテクニカルセラミックスの最先端を切り開いてきました。またその事業領域もエネルギーや半導体、医療のみならず、機械、食品・農業、輸送、航空宇宙・防衛分野など多岐に...