SiC Wafer Boats
クアーズテック合同会社

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この製品について

■用途拡散／LP-CVDプロセス用ウェーハキャリア

■材料高純度反応焼結炭化ケイ素TPSS

■機能・特徴・高純度
・高温での使用が可能 (～1,350℃) 
・パーティクル発生を抑制
・主要装置メーカーの認定を取得

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商品画像	品番	価格 (税抜)	かさ密度 g/cm3	曲げ強さ室温 MPa	曲げ強さ高温 MPa	ヤング率 GPa	ポアソン比	ビッカース硬度 GPa	破壊靭性値 MPa・m1/2	線膨張係数 x10^-6/K	熱伝導度室温 W/ (m・K)	熱伝導度高温 W/ (m・K)	耐熱衝撃性⊿Tc ℃	最高使用温度 ℃	体積抵抗率 (室温) Ω・cm
	SiC Wafer Boats	要見積もり	3.0	260	280 (1,200℃)	360	0.16	20.4	4	4.2 (室温~1,000℃)	220	55 (1,000℃)	350	1,370	10^-1~10

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会社概要

クアーズテックグループは、110年以上にわたり、常に移り変わるテクニカルセラミックスの最先端を切り開いてきました。またその事業領域もエネルギーや半導体、医療のみならず、機械、食品・農業、輸送、航空宇宙・防衛分野など多岐に...