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Carbon Susceptors-Carbon Susceptors
Carbon Susceptors-クアーズテック合同会社


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この製品について

■用途

エピタキシャルプロセス用ウェーハキャリア

■材料

高純度SiCコーティング黒鉛CLEARCARBON

■機能・特徴

・高純度 ・ウェーハの温度分布を均一に制御 ・優れた高温耐久性

  • シリーズ

    Carbon Susceptors

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Carbon Susceptors 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 曲げ強さ 室温 MPa 線膨張係数 x10^-6/K 最高使用温度 ℃
Carbon Susceptors-品番-Carbon Susceptors

Carbon Susceptors

要見積もり

40

4.8 (室温~450℃)

1,500
(不活性雰囲気)

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

クアーズテックグループは、110年以上にわたり、常に移り変わるテクニカルセラミックスの最先端を切り開いてきました。またその事業領域もエネルギーや半導体、医療のみならず、機械、食品・農業、輸送、航空宇宙・防衛分野など多岐に...

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  • 本社所在地: 東京都
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