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Carbon Susceptors-Carbon Susceptors
Carbon Susceptors-クアーズテック合同会社


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この製品について

■用途

エピタキシャルプロセス用ウェーハキャリア

■材料

高純度SiCコーティング黒鉛CLEARCARBON

■機能・特徴

・高純度 ・ウェーハの温度分布を均一に制御 ・優れた高温耐久性

  • シリーズ

    Carbon Susceptors

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Carbon Susceptors 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 曲げ強さ 室温 MPa 線膨張係数 x10^-6/K 最高使用温度 ℃
Carbon Susceptors-品番-Carbon Susceptors

Carbon Susceptors

要見積もり

40

4.8 (室温~450℃)

1,500
(不活性雰囲気)

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

クアーズテック株式会社は、炭化ケイ素セラミックスや真空破壊用ブレイクフィルターなど半導体関連製品の製造販売、液晶ディスプレイ用大型フォトマスク基板などFPD関連製品の製造販売、ガラス溶融用石英ルツボやガラス工業用高品位耐...

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  • 本社所在地: 東京都
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