Carbon Susceptors
クアーズテック合同会社

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この製品について

■用途エピタキシャルプロセス用ウェーハキャリア

■材料高純度SiCコーティング黒鉛CLEARCARBON

■機能・特徴・高純度
・ウェーハの温度分布を均一に制御
・優れた高温耐久性

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商品画像	品番	価格 (税抜)	曲げ強さ室温 MPa	線膨張係数 x10^-6/K	最高使用温度 ℃
	Carbon Susceptors	要見積もり	40	4.8 (室温~450℃)	1,500 (不活性雰囲気)

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会社概要

クアーズテックグループは、110年以上にわたり、常に移り変わるテクニカルセラミックスの最先端を切り開いてきました。またその事業領域もエネルギーや半導体、医療のみならず、機械、食品・農業、輸送、航空宇宙・防衛分野など多岐に...