チャンバードームとライナー
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この製品について

チャンバードーム (リッドと呼ばれることもあります) は、蒸着チャンバー内にクリーンで不活性な保護環境を作り出すために使用されます。チャンバー内での化学反応により、ウェーハ上に金属、誘電体、半導体材料の薄層が蒸着されます。

チャンバーリッドとライナーは、成膜またはエッチングプロセス中にプラズマにさらされるため、高いプラズマ耐久性、純度、誘電強度の組み合わせが要求されます。高純度アルミナ (Al2O3) と窒化アルミニウム (AlN) は、このような装置の課題を満たすために頻繁に使用されます。