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多孔質セラミックス 電子ビーム蒸着用ハースライナー-アルミナ質 / VCAD
多孔質セラミックス 電子ビーム蒸着用ハースライナー-真空セラミックス株式会社

多孔質セラミックス 電子ビーム蒸着用ハースライナー
真空セラミックス株式会社

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この製品について

ハースライナーは、EB蒸着機用コンタミネーション防止、クリーニング軽減に役立ちます。

■材質

アルミナ質：VCAD マグネシア質：VCMG ジルコニア質：VCZR ハース容量

■蒸着源種類 / 容量 (㎤)

・EGK-3：2.6 ・EGK-3M：2.9 ・EGL-35：40 ・EGL-35M：40または10 ・EGL-206M：20 ・EGL-406：40 ・EGL-110：110 ・EGL-80M：110 ・EGL-103S：10

  • シリーズ

    多孔質セラミックス 電子ビーム蒸着用ハースライナー

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多孔質セラミックス 電子ビーム蒸着用ハースライナー 品番1件

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多孔質セラミックス 電子ビーム蒸着用ハースライナー-品番-アルミナ質 / VCAD

アルミナ質 / VCAD

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排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1,000 1,000 - 3,000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1,000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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真空セラミックス株式会社

  • 本社所在地: 岐阜県

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