優れた位置分解能を備えた単電極センサー D-510 PISeca 静電容量センサー-D-510.021

優れた位置分解能を備えた単電極センサー D-510 PISeca 静電容量センサー
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

■静電容量式位置センサーによる最高の精度と寿命・信号処理用の電子機器と組み合わせると、準静的アプリケーションの分解能はサブナノメートルの範囲に達します
・ハイダイナミクスアプリケーションでは帯域幅を最大 10 kHz まで増やすことができ、それでも 1 nm 範囲の分解能に到達できます
・直線性誤差は0.1%未満です

■カスタマイズバージョン / 2 電極センサー・ここにリストされている標準センサーに加えて、PI は、たとえば測定範囲、形状、材質が顧客の要件に適合する、アプリケーション固有のカスタム バージョンのシリーズを提供しています
・カスタマイズされた電子機器も利用可能です
・D-100 シリーズの 2 電極センサーは、直線性と分解能に対する最も高い要求に対応できます

■取り扱いと統合が簡単・すべての PISeca センサー ヘッドには LEMO コネクタが装備されており、取り付けと交換が簡単です
・均一なシャフトの厚さにより、互換性と柔軟性が保証されます
・評価用電子機器に接続するケーブルにはいくつかのバリエーションがあるため、別途注文する必要があります

■応用分野・産業と研究
・半導体の製造と検査
・ナノメトロロジー
・アクティブ振動吸収装置
・精密加工

■特長・非接触距離測定
・絶対位置検出
・振動測定
・サブナノメートルの解像度
・柔軟な測定範囲
・簡単な統合

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
優れた位置分解能を備えた単電極センサー D-510 PISeca 静電容量センサー

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

センサー

位置センサー

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優れた位置分解能を備えた単電極センサー D-510 PISeca 静電容量センサー品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	センサーの種類	公称測定範囲 20μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。 50μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。 100μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	公称測定範囲における最小測定ギャップ 10μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。 25μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。 50μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	5倍に拡張された測定範囲*で最大の測定ギャップ 150μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。 375μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。 750μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	静的解像度	動的解像度	直線性誤差 <0.2% ※公称測定範囲における直線性誤差 <0.1% ※公称測定範囲における直線性誤差	センサー有効径 3.8mm 6mm 8.4mm	センサーのアクティブエリア 11.2mm² 27.9mm² 56.1 mm²	センサー径 8mm 12mm 20mm	センサーエリア 50.3mm² 113.1 mm² 314.0 mm²	取付軸径	使用温度範囲	材料	質量 8g (±5%) 10g (±5%) 16g (±5%)	適切な接続ケーブル	推奨電子機器 E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509、E-509.E03、E-509.E3 E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3
D-510.021	要見積もり	単一電極、容量性	20μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	10μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	150μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	測定範囲の <0.001 % (RMS) ※帯域幅 10 Hz、E-852 評価電子機器を使用	測定範囲の <0.002 % (RMS) ※帯域幅 10 kHz、E-852 評価電子機器を使用	<0.2% ※公称測定範囲における直線性誤差	3.8mm	11.2mm²	8mm	50.3mm²	8mm	-20~100℃	ステンレス鋼	8g (±5%)	D-891.01x、D-891.02x	E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509、E-509.E03、E-509.E3
D-510.051	要見積もり	単一電極、容量性	50μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	25μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	375μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	測定範囲の <0.001 % (RMS) ※帯域幅 10 Hz、E-852 評価電子機器を使用	測定範囲の <0.002 % (RMS) ※帯域幅 10 kHz、E-852 評価電子機器を使用	<0.1% ※公称測定範囲における直線性誤差	6mm	27.9mm²	12mm	113.1 mm²	8mm	-20~100℃	ステンレス鋼	10g (±5%)	D-891.01x、D-891.02x	E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509.E03、E-509.E3
D-510.101	要見積もり	単一電極、容量性	100μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	50μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	750μm ※E-852.10 では拡張測定範囲が利用可能で、2 つの測定範囲がそれぞれ校正されています。拡張係数: 1、2、2.5、5。	測定範囲の <0.001 % (RMS) ※帯域幅 10 Hz、E-852 評価電子機器を使用	測定範囲の <0.002 % (RMS) ※帯域幅 10 kHz、E-852 評価電子機器を使用	<0.1% ※公称測定範囲における直線性誤差	8.4mm	56.1 mm²	20mm	314.0 mm²	8mm	-20~100℃	ステンレス鋼	16g (±5%)	D-891.01x、D-891.02x	E-852.10、E-852.10A1、E-711.SE3、E-509、E-509.E03、E-509.E3