開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー-P-733.3CD

開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー
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この製品について

開口部付き高精度XYZスキャナー

■特徴・X 軸と Y軸の平行運動学により、応答時間が短縮され、多軸精度が向上します
・移動範囲300x300x300μm
・静電容量センサーによる最高の直線性
・ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム
・優れたスキャニング平坦度
・ハイダイナミクスなXYZバージョンをご用意
・有効開口部66 mmx66mm
・PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命
・UHVバージョン10-9hPa

概要
■応用分野走査型顕微鏡検査/干渉計/マスク.ウエハー位置決め/計測技術/バイオテクノロジー/ スキャニングとスクリーニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供します。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度フレクシャガイドは、メンテナンス,摩擦摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します。

■自動構成と高速コンポーネント交換メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、迅速に交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのDサブコネクタのIDチップに保存されます。

■並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。軸間の望ましくないクロストークは、リアルタイムでアクティブに補正 (アクティブガイド) できます (帯域幅によって異なります) 。動的動作でもナノメートル範囲で高いトラッキング精度を実現します。

型番
この商品には3種類の型番があります

シリーズ
開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

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開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー品番3件

フィルター

品番	価格 (税抜)	駆動軸	内蔵センサー	移動範囲 (X、Y、Z)	移動範囲 (-20~+120V) オープンループ時	分解能 (オープンループ時) X、Y、Z 0.2/0.2/0.1 nm 0.1/0.1/0.1 nm	リニアリティエラー	再現性X、Y、Z	ピッチング (X、Y) ±3 µrad ±5 µrad	クロストークθX,θY (X、Y、Z方向へ動作時)	システム解像度 (X、Y、Z) 0.3/0.3/0.2 nm 0.1/0.1/0.1 nm	ドライブの種類	剛性 (X、Y、Z) 1.4/1.4/9 N/μm 4/4/10 N/μm	無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) 460/460/1,400 Hz 1,200/1,200/1,100 Hz	共振周波数@120g (X,Y,Z) 340/340/1,060 Hz	共振周波数@200g (X,Y,Z) 295/295/650 Hz 530/530/635 Hz	プルフォース容量	プッシュ容量	電気容量 (X,Y,Z) 6/6/2.4 µF 6.2/6.2/3.3 µF	動作温度範囲	材料	質量	ケーブル長	コネクタ D-Sub25W3 (m) LEMO FFA.00.250.CTAC22	推奨コントローラ	センサーコネクタ LEMO FFA.00.250.CTLC31
P-733.3CD	要見積もり	X、Y、Z	静電容量式、間接位置測定	100/100/10 μm	115/115/12 μm	0.2/0.2/0.1 nm	0.03 %	2 / 2 / 1 nm	±3 µrad	±10/±10/±5 µrad	0.3/0.3/0.2 nm	ピクマ®	1.4/1.4/9 N/μm	460/460/1,400 Hz	340/340/1,060 Hz	295/295/650 Hz	20 N	50 N	6/6/2.4 µF	-20~80 ℃	アルミニウム	675 g	1.5 m	D-Sub25W3 (m)	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727	-
P-733.3CL	要見積もり	X、Y、Z	静電容量式、間接位置測定	100/100/10 μm	115/115/12 μm	0.2/0.2/0.1 nm	0.03 %	2 / 2 / 1 nm	±3 µrad	±10/±10/±5 µrad	0.3/0.3/0.2 nm	ピクマ®	1.4/1.4/9 N/μm	460/460/1,400 Hz	340/340/1,060 Hz	295/295/650 Hz	20 N	50 N	6/6/2.4 µF	-20~80 ℃	アルミニウム	675 g	1.5 m	LEMO FFA.00.250.CTAC22	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727	LEMO FFA.00.250.CTLC31
P-733.3DD	要見積もり	X、Y、Z	静電容量式、間接位置測定	100/100/10 μm	115/115/12 μm	0.1/0.1/0.1 nm	0.03 %	2 / 2 / 1 nm	±5 µrad	±10/±10/±5 µrad	0.1/0.1/0.1 nm	ピクマ®	4/4/10 N/μm	1,200/1,200/1,100 Hz	-	530/530/635 Hz	20 N	50 N	6.2/6.2/3.3 µF	-20~80 ℃	アルミニウム	675 g	1.5 m	D-Sub25W3 (m)	E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727	-