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開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー-P-733.3CD
開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー-ピーアイ・ジャパン株式会社

開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

開口部付き高精度XYZスキャナー

■特徴

・X 軸と Y軸の平行運動学により、応答時間が短縮され、多軸精度が向上します ・移動範囲300x300x300μm ・静電容量センサーによる最高の直線性 ・ゼロ点調整、高精度フレクシャガイドシステム ・優れたスキャニング平坦度 ・ハイダイナミクスなXYZバージョンをご用意 ・有効開口部66 mmx66mm ・PICMAピエゾアクチュエータによる優れた寿命 ・UHVバージョン10-9hPa 概要

■応用分野

走査型顕微鏡検査/干渉計/マスク.ウエハー位置決め/計測技術/バイオテクノロジー/ スキャニングとスクリーニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命

特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供します。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能

静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度

フレクシャガイドは、メンテナンス,摩擦摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します。

■自動構成と高速コンポーネント交換

メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、迅速に交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのDサブコネクタのIDチップに保存されます。

■並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度

すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。軸間の望ましくないクロストークは、リアルタイムでアクティブに補正 (アクティブガイド) できます (帯域幅によって異なります) 。動的動作でもナノメートル範囲で高いトラッキング精度を実現します。

  • シリーズ

    開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー

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開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー 品番3件

フィルター
商品画像 品番 価格 (税抜) 駆動軸 内蔵センサー 移動範囲 (X、Y、Z) 移動範囲 (-20~+120V) オープンループ時 分解能 (オープンループ時) X、Y、Z リニアリティエラー 再現性X、Y、Z ピッチング (X、Y) クロストークθX,θY (X、Y、Z方向へ動作時) システム解像度 (X、Y、Z) ドライブの種類 剛性 (X、Y、Z) 無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) 共振周波数@120g (X,Y,Z) 共振周波数@200g (X,Y,Z) プルフォース容量 プッシュ容量 電気容量 (X,Y,Z) 動作温度範囲 材料 質量 ケーブル長 コネクタ 推奨コントローラ センサーコネクタ
開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー-品番-P-733.3CD

P-733.3CD

要見積もり X、Y、Z 静電容量式、間接位置測定 100/100/10 μm 115/115/12 μm 0.2/0.2/0.1 nm 0.03 % 2 / 2 / 1 nm ±3 µrad ±10/±10/±5 µrad 0.3/0.3/0.2 nm ピクマ® 1.4/1.4/9 N/μm 460/460/1,400 Hz 340/340/1,060 Hz 295/295/650 Hz 20 N 50 N 6/6/2.4 µF -20~80 ℃ アルミニウム 675 g 1.5 m D-Sub25W3 (m) E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727 -
開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー-品番-P-733.3CL

P-733.3CL

要見積もり X、Y、Z 静電容量式、間接位置測定 100/100/10 μm 115/115/12 μm 0.2/0.2/0.1 nm 0.03 % 2 / 2 / 1 nm ±3 µrad ±10/±10/±5 µrad 0.3/0.3/0.2 nm ピクマ® 1.4/1.4/9 N/μm 460/460/1,400 Hz 340/340/1,060 Hz 295/295/650 Hz 20 N 50 N 6/6/2.4 µF -20~80 ℃ アルミニウム 675 g 1.5 m LEMO FFA.00.250.CTAC22 E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727 LEMO FFA.00.250.CTLC31
開口部付き高精度XYZスキャナー P-733.3 XYZピエゾナノポジショナー-品番-P-733.3DD

P-733.3DD

要見積もり X、Y、Z 静電容量式、間接位置測定 100/100/10 μm 115/115/12 μm 0.1/0.1/0.1 nm 0.03 % 2 / 2 / 1 nm ±5 µrad ±10/±10/±5 µrad 0.1/0.1/0.1 nm ピクマ® 4/4/10 N/μm 1,200/1,200/1,100 Hz - 530/530/635 Hz 20 N 50 N 6.2/6.2/3.3 µF -20~80 ℃ アルミニウム 675 g 1.5 m D-Sub25W3 (m) E-503, E-505, E-610, E-621, E-625, E-712, E-727 -

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100.0%


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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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