高ダイナミクスナノポジショナー / スキャナー、直接位置測定付き P-517 • P-527 多軸ピエゾスキャナ-P-517.2CL

高ダイナミクスナノポジショナー / スキャナー、直接位置測定付き P-517 • P-527 多軸ピエゾスキャナ
ピーアイ・ジャパン株式会社

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この製品について

高ダイナミクスナノポジショナー / スキャナー、直接位置測定付き

■特徴・2軸および3軸バージョン (XYおよびXYθZ) 
・移動範囲 200 μm まで
・サブナノメートルの分解能

概要
■応用分野計測/干渉計/フォトニクス/集積光学/リトグラフ/ナノポジショニング/走査型顕微鏡/サンプルアライメント/マイクロマシニング

■PICMA®ピエゾアクチュエータによる優れた寿命特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエータは、オールセラミック絶縁されています。これにより、漏れ電流の増加に起因する湿度や故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を提供します。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。

■静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能静電容量センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。これらのデバイスは、優れた直線性、長期安定性、およびkHz範囲の帯域幅を保証します。

■ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度フレクシャガイドはメンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。その剛性は高い負荷容量を可能にし、衝撃や振動の影響を受けません。それらは広い温度範囲で動作します。

■自動構成と高速コンポーネント交換メカニックとコントローラーは必要に応じて組み合わせることができ、迅速に交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのDサブコネクタのIDチップに保存されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラの電源を入れるたびにこのデータを使用します。

■並列位置測定によるナノメートル範囲での高いトラッキング精度すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。軸間の望ましくないクロストークは、リアルタイムでアクティブに補正 (アクティブガイド) できます (帯域幅によって異なります) 。動的動作でもナノメートル範囲で高いトラッキング精度を実現します。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
高ダイナミクスナノポジショナー / スキャナー、直接位置測定付き P-517 • P-527 多軸ピエゾスキャナ

取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社

カテゴリ

コントローラ・制御装置

ポジショナ

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高ダイナミクスナノポジショナー / スキャナー、直接位置測定付き P-517 • P-527 多軸ピエゾスキャナ品番10件

フィルター

品番	価格 (税抜)	駆動軸 X、Y X、Y、Z X Y θZ	内蔵センサー	移動範囲 (-20~120V) オープンループ時 130 μm 250 μm X,Y:130 μm Z:25 μm X,Y:250 μm Z:25 μm X,Y:130 μm θZ:±1.3 mrad X,Y:250 μm θZ:±2.5 mrad	移動範囲 (クローズドループ時) 100 μm 200 μm X,Y:100 μm Z: 20 X,Y:200 μm Z: 20 X,Y:100 μm θZ:±1 mrad X,Y:200 μm θZ:±2 mrad	分解能 (オープンループ時) 0.3 nm 0.5 nm X, Y: 0.3 nm Z: 0.1 nm X, Y: 0.5 nm Z: 0.1 nm X, Y: 0.3 nm θZ:0.1 µrad X, Y: 0.5 nm θZ:0.1 µrad	分解能 (クローズドループ時) 1 nm 2 nm X, Y: 1 nm Z: 0.1 nm "X, Y: 1 nm Z: 0.1 nm" X, Y: 2 nm Z: 0.1 nm X, Y: 1 nm θZ:0.3µrad X, Y: 2 nm θZ:0.3µrad	リニアリティエラー	再現性 ±5 nm ±10 nm X, Y: ±5 nm Z: ±1 nm X, Y: ±10 nm Z: ±1 nm X, Y: ±5 nm θZ ±0.5 µrad X, Y: ±10 nm θZ ±1 µrad	剛性 1 2 X、Y:2 Z: 15 X、Y:1 Z: 15	無負荷時共振周波数 350 450 X、Y:450 Z: 1100 X、Y:350 Z: 1100 X、Y:450 θZ:400 X、Y:350 θZ:300	共振周波数@500g (X,Y) 190 250	共振周波数@2500g (X,Y) 110 140	負荷容量	ピエゾセラミック PICMAP-885 PICMAPICMA P-885	静電容量 9 9.2 X,Y:9 Z: 6	動作温度範囲	材料	質量	センサー/ボルト接続 CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub 25W3 (m) D-sub25W3 (m)	推奨コントローラ
P-517.2CL	要見積もり	X、Y	静電容量	130 μm	100 μm	0.3 nm	1 nm	0.03	±5 nm	2	450	250	140	5	PICMAP-885	9.2	-20~80	アルミニウム	1.4	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub 25W3 (m)	E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727
P-517.2CD	要見積もり	X、Y	静電容量	130 μm	100 μm	0.3 nm	1 nm	0.03	±5 nm	2	450	250	140	5	PICMAP-885	9.2	-20~80	アルミニウム	1.4	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub 25W3 (m)	E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727
P-527.2CL	要見積もり	X、Y	静電容量	250 μm	200 μm	0.5 nm	2 nm	0.03	±10 nm	1	350	190	110	5	PICMAPICMA P-885	9.2	-20~80	アルミニウム	1.4	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub 25W3 (m)	E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727
P-527.2CD	要見積もり	X、Y	静電容量	250 μm	200 μm	0.5 nm	2 nm	0.03	±10 nm	1	350	190	110	5	PICMAPICMA P-885	9.2	-20~80	アルミニウム	1.4	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub 25W3 (m)	E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727
P-517.3CL	要見積もり	X、Y、Z	静電容量	X,Y:130 μm Z:25 μm	X,Y:100 μm Z: 20	X, Y: 0.3 nm Z: 0.1 nm	X, Y: 1 nm Z: 0.1 nm	0.03	X, Y: ±5 nm Z: ±1 nm	X、Y:2 Z: 15	X、Y:450 Z: 1100	250	140	5	PICMAPICMA P-885	X,Y:9 Z: 6	-20~80	アルミニウム	1.4	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub 25W3 (m)	E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727
P-517.3CD	要見積もり	X、Y、Z	静電容量	X,Y:130 μm Z:25 μm	X,Y:100 μm Z: 20	X, Y: 0.3 nm Z: 0.1 nm	"X, Y: 1 nm Z: 0.1 nm"	0.03	X, Y: ±5 nm Z: ±1 nm	X、Y:2 Z: 15	X、Y:450 Z: 1100	250	140	5	PICMAPICMA P-885	X,Y:9 Z: 6	-20~80	アルミニウム	1.4	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub 25W3 (m)	E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727
P-527.3CL	要見積もり	X、Y、Z	静電容量	X,Y:250 μm Z:25 μm	X,Y:200 μm Z: 20	X, Y: 0.5 nm Z: 0.1 nm	X, Y: 2 nm Z: 0.1 nm	0.03	X, Y: ±10 nm Z: ±1 nm	X、Y:1 Z: 15	X、Y:350 Z: 1100	190	110	5	PICMAPICMA P-885	X,Y:9 Z: 6	-20~80	アルミニウム	1.4	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub 25W3 (m)	E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727
P-527.3CD	要見積もり	X、Y、Z	静電容量	X,Y:250 μm Z:25 μm	X,Y:200 μm Z: 20	X, Y: 0.5 nm Z: 0.1 nm	X, Y: 2 nm Z: 0.1 nm	0.03	X, Y: ±10 nm Z: ±1 nm	X、Y:1 Z: 15	X、Y:350 Z: 1100	190	110	5	PICMAPICMA P-885	X,Y:9 Z: 6	-20~80	アルミニウム	1.4	CLバージョン：LEMO CDバージョン：D-sub 25W3 (m)	E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727
P-517.RCD	要見積もり	X Y θZ	静電容量	X,Y:130 μm θZ:±1.3 mrad	X,Y:100 μm θZ:±1 mrad	X, Y: 0.3 nm θZ:0.1 µrad	X, Y: 1 nm θZ:0.3µrad	0.03	X, Y: ±5 nm θZ ±0.5 µrad	2	X、Y:450 θZ:400	250	140	5	PICMAPICMA P-885	9	-20~80	アルミニウム	1.4	D-sub25W3 (m)	E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727
P-527.RCD	要見積もり	X Y θZ	静電容量	X,Y:250 μm θZ:±2.5 mrad	X,Y:200 μm θZ:±2 mrad	X, Y: 0.5 nm θZ:0.1 µrad	X, Y: 2 nm θZ:0.3µrad	0.03	X, Y: ±10 nm θZ ±1 µrad	1	X、Y:350 θZ:300	190	110	5	PICMAPICMA P-885	9	-20~80	アルミニウム	1.4	D-sub25W3 (m)	E-503, E-505,E-621,E-712 ,E-727