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シリーズ
高分解能フィードバックステージシステム 50nmフィードバックステージ NFS-X取扱企業
シグマ光機株式会社| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 移動量 | テーブル面サイズ | 送りネジ | 移動ガイド | ステージ上面材質 | 表面処理 | 質量 | 分解能 Full | 分解能 Half | MAXスピード | 位置決め精度 | 繰返し位置決め精度 | 微小範囲双方向繰返し位置決め精度 | 最小応答分解能 参考 | 耐荷重 | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | ロストモーション | バックラッシ | 平行度 | 走り平行度 | ピッチング | ヨーイング | モータ タイプ | モータ 品番 | スケール分解能 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
NFS60-20X |
要見積もり |
20mm |
75x60mm |
・ボールネジ径φ4mm |
クロスローラ |
アルミ |
黒アルマイト |
0.5kg |
2μm/パルス |
1μm/パルス |
10mm/sec |
1μm |
0.5μm |
±100nm |
150nm |
49N (5.0kgf) |
0.5"/N.cm |
0.5"/N.cm |
0.5"/N.cm |
0.5μm |
1μm |
50μm |
10μm |
15" |
15" |
5相ステッピングモータ 0.35A/相 (オリエンタルモーター (株) |
PK523PMB-C5 (□28mm) |
50nm |
