高分解能フィードバックステージシステム 1nmフィードバックステージ NFS-UPX-NFS60-20UPX

高分解能フィードバックステージシステム 1nmフィードバックステージ NFS-UPX
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この製品について

CE、UKCAマーキングに対応した5相ステッピングモータ駆動ガラススケール内蔵の高分解能フィードバックステージです。光学式ガラススケールを内蔵し、高い位置再現性と高分解能を実現しました。

分解能1nmタイプは、6種類のテーブル面サイズから選択ができます。

■詳細・ボールねじ駆動のためピエゾステージよりも移動量が長く確保でき、さらに豊富な移動量とテーブルサイズから選定できます。
・ユーザビリティー向上の観点からAutoconfigによるプラグインを実現しました。
・フィードバックステージ (NFSシリーズ) 対応コントローラ (SHRC-203) をご用意しています。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
高分解能フィードバックステージシステム 1nmフィードバックステージ NFS-UPX

取扱企業
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高分解能フィードバックステージシステム 1nmフィードバックステージ NFS-UPX 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	移動量	テーブル面サイズ	送りネジ	移動ガイド	ステージ上面材質	表面処理	質量	分解能 Full	分解能 Half	MAXスピード	位置決め精度	繰返し位置決め精度	微小範囲双方向繰返し位置決め精度	最小応答分解能参考	耐荷重	モーメント剛性ピッチング	モーメント剛性ヨーイング	モーメント剛性ローリング	ロストモーション	バックラッシ	平行度	走り平行度	ピッチング	ヨーイング	モータタイプ	モータ品番	スケール分解能
	NFS60-20UPX	要見積もり	20mm	75x60mm	・ボールネジ径φ4mm ・リード1mm	クロスローラ	アルミ	黒アルマイト	0.5kg	1μm/パルス	0.5μm/パルス	5mm/sec	1μm	0.4μm	±4nm	3nm	49N (5.0kgf)	0.5"/N.cm	0.5"/N.cm	0.5"/N.cm	0.4μm	1μm	50μm	10μm	15"	15"	5相ステッピングモータ 0.35A/相 (オリエンタルモーター (株)	PK523PMB-C5 (□28mm)	1nm