流体温度制御製品ケミカルヒータ
日本エクセル株式会社

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この製品について

金属イオンの溶出汚染がないインライン型の抵抗ヒータ方式薬液加熱装置。短時間に制度よく温度制御するためのインラインヒータです。
■特徴加熱部の電熱接液部材は高純度のガラス状炭素を使用しており、溶出金属イオンによる汚染の心配がなく、表面保護膜も不要のため剥離による能力低下もありません。また、ゴムOリング等を用いない当社独自の構造のため、酸性薬液・アルカリ性薬液、及び有機溶剤への対応が可能です。

装置には、薬液の漏れを検知する漏液センサ、異常温度を検知する温度スイッチを内蔵していますので、安心してご使用いただけます。

■用途・半導体製造ウェットプロセスで使用される薬液の温度管理
・メッキ液、各種表面処理液、他

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
流体温度制御製品ケミカルヒータ

取扱企業
日本エクセル株式会社

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流体温度制御製品ケミカルヒータ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	温度設定範囲	温度設定制度	ヒータ電力量	温度制御方式	温度設定方式	温度表示方式	循環系接液部材質	循環系許容内圧	最低循環流量	安全機能	外部通信機能	外形寸法 (mm) 重量加熱ユニット	外形寸法 (mm) 重量コントローラ	定格電圧 (V )
	CHE-36-3-S	要見積もり	25℃~80℃ (使用環境、薬液の種類等の条件により異なる)	±0.5℃ (設定温度50~80℃時) (使用環境条件一定にて最適PID値設定のとき)	6kW	PID制御、オートチューニング機能付き	UP/DOWNキーによる設定	デジタル表示4桁 (最小0.1℃)	フッ素樹脂、電熱接液表面は高純度ガラス状炭素	0.3MPa	15 (l/min) 以上	過熱防止、液漏れ検知等、自己診断機能14項目検出時出力停止・警報表示、警報を接点出力	RS232C	W380×D350×H325 約38kg	W175×D278×H250 約9.0kg	AC単相200V/30A