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PEGASUS 表面形状シミュレータ 3次元表面形状シミュレーションモジュール FPSM3D
ペガサスソフトウェア株式会社

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■計算手法の概要

3次元表面形状シミュレーションモジュールFPSM3D (Feature Profile Simulation Module-3D; FPSM3D) は、 粒子モンテカルロ法により、基板表面での様々な反応を考慮し、基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュールです。PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能です。

■入力項目

3次元直交メッシュで定義されますが、初期形状は円形ホール、円柱を与えることも可能です。 入射粒子情報 (粒子フラックス、入射エネルギー・角度分布) はPEGASUS気相モジュール、PEGASUS表面科学系モジュールからの出力を使用するか、もしくはFPSM3Dが備えている入力方法で使用者が指定します。

■出力項目

堆積膜、基板などの固体層の形状 (固体占有率分布) 反応生成ガス種の密度分布、速度分布 気相への流出フラックス、流入粒子種の失活確率

  • シリーズ

    PEGASUS 表面形状シミュレータ 3次元表面形状シミュレーションモジュール FPSM3D

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2025年7月26日にレビュー

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使用用途

#設計検証 #製造工程最適化 #流体解析 #電磁解析 #交通都市計画

解析対象

構造解析 熱解析 分子動力学 人体モデル

技術方式

有限要素法 計算流体力学 マルチボディ解析

分野

機械工学 電気電子 化学材料 医学薬学 土木建築 社会システム

特徴

リアルタイム型 高精度型 軽量簡易型 クラウド型 VR連携型

計算手法

静的陽解法 有限要素法 時間積分

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ペガサスソフトウェア株式会社は、科学技術分野向けの数値シミュレーションツール「PEGASUS」シリーズの開発・提供を行うソフトウェア企業です。 PEGASUSは、プラズマ処理・真空技術・半導体製造・材料開発の分野に...

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  • 本社所在地: 東京都
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