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PEGASUS 表面形状シミュレータ 3次元表面形状シミュレーションモジュール FPSM3D
ペガサスソフトウェア株式会社



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この製品について

■計算手法の概要

3次元表面形状シミュレーションモジュールFPSM3D (Feature Profile Simulation Module-3D; FPSM3D) は、 粒子モンテカルロ法により、基板表面での様々な反応を考慮し、基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュールです。PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能です。

■入力項目

3次元直交メッシュで定義されますが、初期形状は円形ホール、円柱を与えることも可能です。 入射粒子情報 (粒子フラックス、入射エネルギー・角度分布) はPEGASUS気相モジュール、PEGASUS表面科学系モジュールからの出力を使用するか、もしくはFPSM3Dが備えている入力方法で使用者が指定します。

■出力項目

堆積膜、基板などの固体層の形状 (固体占有率分布) 反応生成ガス種の密度分布、速度分布 気相への流出フラックス、流入粒子種の失活確率

  • シリーズ

    PEGASUS 表面形状シミュレータ 3次元表面形状シミュレーションモジュール FPSM3D

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