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PEGASUS 表面形状シミュレータ 2次元表面形状シミュレーションモジュール FPSM2D
ペガサスソフトウェア株式会社



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この製品について

■特徴

2次元表面形状シミュレーションモジュールFPSM2D (Feature Profile Simulation Module-2D; FPSM2D) は、 粒子モンテカルロ法により、基板表面での様々な反応を考慮し、基板、堆積膜の経時変化を計算するモジュールです。PVD、プラズマCVD、そしてエッチングなどどのような反応にも対応可能です。

■計算手法の概要

FPSM2Dは、粒子モンテカルロ法を用い、セル法により固体層占有率、表面被覆率を考慮し形状を表現します。このときセル法特有のシャープな境界面は用いず、固体層占有率による勾配から入射角を決定し、入射角依存の鏡面反射確率、反応確率に適用します。ガス種、反応式、錯体、そしてポリマーなどの数には制限はありません。

■入力項目

2次元直交メッシュで定義されますが、初期形状は任意形状で与えることが可能です。 入射粒子情報 (粒子フラックス、入射エネルギー・角度分布) はPEGASUS気相モジュール、PEGASUS表面科学系モジュールからの出力を使用するか、もしくはFPSM2Dが備えている入力方法で使用者が指定します。

■出力項目

堆積膜、基板などの固体層の形状 (固体占有率分布) 反応生成ガス種の密度分布、速度分布 気相への流出フラックス、流入粒子種の失活確率

  • シリーズ

    PEGASUS 表面形状シミュレータ 2次元表面形状シミュレーションモジュール FPSM2D

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PEGASUS 表面形状シミュレータ 2次元表面形状シミュレーションモジュール FPSM2D 品番1件

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