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PEGASUS 表面形状シミュレータ コンタミ成長シミュレーションモジュール CONTAMI2D
ペガサスソフトウェア株式会社

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この製品について

■特徴

コンタミ成長シミュレーションモジュール (CONTAMI2D) は、炭化水素系有機ガス中で電子ビーム入射により試料上に固着するコンタミ (炭素) の成長過程を解析するモジュールです。

■計算手法の概要

計算モデルは下記素過程を考慮した1次元拡散方程式 (軸対称系を含む) を解きます。 素過程とは、吸着レート、脱着レート、試料表面上での拡散効果そして、電子ビームによる有機物の 架橋・重合等々によるコンタミネーション変異レートです。 解法は次の4段階により所定の時間に達するまで繰り返します。 (1) コンタミナントの成長に伴い、表面を構成する線分列の基本幾何量を計算します。 (2) コンタミナント以外の生成消滅に関わる拡散方程式を解きます。 (3) コンタミナント生成に伴う炭化水素消滅量を計算し、当該量をもってコンタミナント生成量とします。 (4) コンタミナント生成量 (面積数密度) から生成体積を計算し、セルの体積占有率を更新します。

■入力項目

軸対称モデルでの試料 (基板) の幾何形状をGUIにより定義します。 物理量として、有機物分圧、気相温度、脱着時定数、コンタミ化衝突断面積、 脱離衝突断面積、電子ビーム照射レート、表面拡散係数などを設定します。

■出力項目

有機ガスの圧力分布、固体層 (試料:基板、コンタミ:炭素) の占有率、 固体層全体の占有率および表面形状、電子ビーム形状

  • シリーズ

    PEGASUS 表面形状シミュレータ コンタミ成長シミュレーションモジュール CONTAMI2D

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2025年7月26日にレビュー

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使用用途

#設計検証 #製造工程最適化 #流体解析 #電磁解析 #交通都市計画

解析対象

構造解析 熱解析 分子動力学 人体モデル

技術方式

有限要素法 計算流体力学 マルチボディ解析

分野

機械工学 電気電子 化学材料 医学薬学 土木建築 社会システム

特徴

リアルタイム型 高精度型 軽量簡易型 クラウド型 VR連携型

計算手法

静的陽解法 有限要素法 時間積分

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ペガサスソフトウェア株式会社は、科学技術分野向けの数値シミュレーションツール「PEGASUS」シリーズの開発・提供を行うソフトウェア企業です。 PEGASUSは、プラズマ処理・真空技術・半導体製造・材料開発の分野に...

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  • 本社所在地: 東京都
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