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PEGASUS 表面形状シミュレータ コンタミ成長シミュレーションモジュール CONTAMI2D
ペガサスソフトウェア株式会社

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この製品について

■特徴

コンタミ成長シミュレーションモジュール (CONTAMI2D) は、炭化水素系有機ガス中で電子ビーム入射により試料上に固着するコンタミ (炭素) の成長過程を解析するモジュールです。

■計算手法の概要

計算モデルは下記素過程を考慮した1次元拡散方程式 (軸対称系を含む) を解きます。 素過程とは、吸着レート、脱着レート、試料表面上での拡散効果そして、電子ビームによる有機物の 架橋・重合等々によるコンタミネーション変異レートです。 解法は次の4段階により所定の時間に達するまで繰り返します。 (1) コンタミナントの成長に伴い、表面を構成する線分列の基本幾何量を計算します。 (2) コンタミナント以外の生成消滅に関わる拡散方程式を解きます。 (3) コンタミナント生成に伴う炭化水素消滅量を計算し、当該量をもってコンタミナント生成量とします。 (4) コンタミナント生成量 (面積数密度) から生成体積を計算し、セルの体積占有率を更新します。

■入力項目

軸対称モデルでの試料 (基板) の幾何形状をGUIにより定義します。 物理量として、有機物分圧、気相温度、脱着時定数、コンタミ化衝突断面積、 脱離衝突断面積、電子ビーム照射レート、表面拡散係数などを設定します。

■出力項目

有機ガスの圧力分布、固体層 (試料：基板、コンタミ：炭素) の占有率、 固体層全体の占有率および表面形状、電子ビーム形状

  • シリーズ

    PEGASUS 表面形状シミュレータ コンタミ成長シミュレーションモジュール CONTAMI2D

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