全てのカテゴリ

閲覧履歴

PEGASUS モジュール 表面科学系シミュレータ 動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア SASAMAL
ペガサスソフトウェア株式会社



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■特徴

動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア (Simulation of Atomic Scattering in Amorphous MAterial based on Liquid model; SASAMAL) 産業技術総合研究所 (中部センター) 基礎素材研究部門の宮川佳子主任研究員らが開発した、高線量イオン注入およびスパッタリングシミュレーションプログラムです。

■計算手法の概要

SASAMALは、産業技術総合研究所の宮川佳子主任研究員が主になって開発した、2体衝突近似に基づくモンテカルロ法によるシミュレーションコードです。 2体衝突近似 (Binary Collision Approximation; BCA) とは、ターゲッ ト (固体) 内を運動するイオンおよび反跳原子の運動を追跡する際に、固体内の複雑なポテンシャル場中の衝突 (多体衝突) を考慮することをせずに、2体衝突の連続として取り扱う近似法です。この近似は、固体内を運動する粒子の運動エネルギーが比較的高い (数10eV以上) 場合に妥当なものとなります。 また、 非弾性エネルギー損失 弾き出しエネルギー 表面結合エネルギー 高線量のイオン注入したときのターゲット組成の動的な変化 (dynamic - SASAMAL) を考慮にいれてシミュレーションを行っています。

■入力項目

入射イオンの質量、エネルギー、入射角度、入射線量 ターゲットの組成 表面結合エネルギーや弾き出しエネルギー

■出力項目

入射イオンのDepth Profile 深さ方向のターゲットの組成分布の変化 ターゲットを構成する各原子のスパッタリング率 スパッタされた原子の放出角度分布、平均エネルギー

  • シリーズ

    PEGASUS モジュール 表面科学系シミュレータ 動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア SASAMAL

この製品を共有する



無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

関連キーワード

最近見た製品

Copyright © 2025 Metoree