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PEGASUS モジュール 表面科学系シミュレータ 動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア SASAMAL
ペガサスソフトウェア株式会社

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この製品について

■特徴

動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア (Simulation of Atomic Scattering in Amorphous MAterial based on Liquid model; SASAMAL) 産業技術総合研究所 (中部センター) 基礎素材研究部門の宮川佳子主任研究員らが開発した、高線量イオン注入およびスパッタリングシミュレーションプログラムです。

■計算手法の概要

SASAMALは、産業技術総合研究所の宮川佳子主任研究員が主になって開発した、2体衝突近似に基づくモンテカルロ法によるシミュレーションコードです。 2体衝突近似 (Binary Collision Approximation; BCA) とは、ターゲッ ト (固体) 内を運動するイオンおよび反跳原子の運動を追跡する際に、固体内の複雑なポテンシャル場中の衝突 (多体衝突) を考慮することをせずに、2体衝突の連続として取り扱う近似法です。この近似は、固体内を運動する粒子の運動エネルギーが比較的高い (数10eV以上) 場合に妥当なものとなります。 また、 非弾性エネルギー損失 弾き出しエネルギー 表面結合エネルギー 高線量のイオン注入したときのターゲット組成の動的な変化 (dynamic - SASAMAL) を考慮にいれてシミュレーションを行っています。

■入力項目

入射イオンの質量、エネルギー、入射角度、入射線量 ターゲットの組成 表面結合エネルギーや弾き出しエネルギー

■出力項目

入射イオンのDepth Profile 深さ方向のターゲットの組成分布の変化 ターゲットを構成する各原子のスパッタリング率 スパッタされた原子の放出角度分布、平均エネルギー

  • シリーズ

    PEGASUS モジュール 表面科学系シミュレータ 動的モンテカルロシミュレーションソフトウェア SASAMAL

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2025年7月26日にレビュー

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使用用途

#設計検証 #製造工程最適化 #流体解析 #電磁解析 #交通都市計画

解析対象

構造解析 熱解析 分子動力学 人体モデル

技術方式

有限要素法 計算流体力学 マルチボディ解析

分野

機械工学 電気電子 化学材料 医学薬学 土木建築 社会システム

特徴

リアルタイム型 高精度型 軽量簡易型 クラウド型 VR連携型

計算手法

静的陽解法 有限要素法 時間積分

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ペガサスソフトウェア株式会社は、科学技術分野向けの数値シミュレーションツール「PEGASUS」シリーズの開発・提供を行うソフトウェア企業です。 PEGASUSは、プラズマ処理・真空技術・半導体製造・材料開発の分野に...

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  • 本社所在地: 東京都
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