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PEGASUS 表面科学系シミュレータ シース内モンテカルロ・シミュレーション・モジュール SMCSM
ペガサスソフトウェア株式会社



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この製品について

■特徴

シース内モンテカルロシミュレーションモジュール (Sheath Monte-Caro Simulation Module; SMCSM) は、時間的に変化するシース内でのイオン、電子の運動を追跡し、ターゲット (基板) 上でのエネルギー分布や角度分布を求めるモジュールです。

■計算手法の概要

このモジュールの目的は、プラズマシース端からシースを通ってシース底部 (ターゲット表面) に達するイオン、電子のエネルギー分布、角度分布等を計算することです。計算手順の概略はつぎのとおりです。 Liebermanらのシースモデル、あるいはPEGASUS/PHMにより、シース内の1RF周期分の電界の時間変化を計算しておく。 シース境界から荷電粒子 (イオン、電子) を入れる。このとき、粒子は指定した速度分布 (Maxwell-Boltzmann分布あるいはBohm速度+Maxwell-Boltzmann分布) をもたせる。 また、シース境界に入射する時刻はRF周期内で一様乱数で決める。 シース底部 (ターゲット表面) に達するまで、時間変化する電界中での荷電粒子の運動を追跡する。このとき、シース内での衝突は無視する。 シース底部 (ターゲット表面) に達した荷電粒子のエネルギー、入射角等をサンプリングする。

■入力項目

入射する荷電粒子の電荷、質量。 Liebermanらのシースモデルを用いる場合は、シース形状を決めるためのパラメータを指定する。 シース端での電子密度、電子温度、周波数、電流値これらはPEGASUS/PHMの計算結果を用いる場合は不要 PHMの計算結果を用いる場合は、PHMが出力する、シースの時間依存電界ファイル。

■出力項目

シース底部 (ターゲット表面) での、荷電粒子のエネルギー分布シース底部 (ターゲット表面) での、入射角度分布

  • シリーズ

    PEGASUS 表面科学系シミュレータ シース内モンテカルロ・シミュレーション・モジュール SMCSM

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