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PEGASUS 3次元気相シミュレータ 3次元静磁場解析モジュール MSSM3D
ペガサスソフトウェア株式会社

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■特徴

3次元静磁場解析モジュール (3D Magneto Static Simulation Module; MSSM3D) は、 永久磁石による静磁場を解析するモジュールです。

■計算手法の概要

MSSM3Dは、永久磁石による静磁場を3次元体系で解析するモジュー ルです。マグネトロンスパッタ装置内などの装置内の永久磁石による静 磁場を計算し、その結果をPIC-MCCM3Dによる3次元プラズマ解析に容易 に引き渡すことができます。MSSM3Dは株式会社ミューテック と共同開発しました。

■入力項目

3次元直交メッシュで定義される、任意の容器形状 (ターゲット、 基板など) 、永久磁石、磁性体 (ヨークなど) の配置を指定すること ができます 永久磁石の磁化特性は、残留磁束密度 (Br) 、保持力 (bHc) で指定できます 磁性体 (S17C) の磁気特性データを内蔵してします

■出力項目

磁束密度分布 (ベクトル図、コンター図) 磁束密度分布グラフ 磁力線図

  • シリーズ

    PEGASUS 3次元気相シミュレータ 3次元静磁場解析モジュール MSSM3D

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