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PEGASUS 3次元気相シミュレータ 3次元プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール PIC-MCCM 3D
ペガサスソフトウェア株式会社



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この製品について

■特徴

3次元プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール (PIC-MCCM 3D) は、 イオン、電子とも粒子モデルで取り扱い、 装置内のプラズマの密度分布等を3次元体系で計算するモジュールです。 近日中にテスト利用可能な状態にすべく、現在鋭意開発中です。 PEGASUS 標準装備のGUIで、モデル作成からポスト処理まで行うことが可能です。

■計算手法の概要

PIC-MCCM3Dは、 プラズマPICモンテカルロ衝突モジュールの3次元版です。 計算手法はPIC-MCCMと全く同様ですが、 3次元カーテシアン座標系で、直交メッシュを用いて計算を行います。

■入力項目

・3次元直交メッシュで定義される、任意の電極・誘電体・アース の配置を指定することができます。 ・電極ごとに印加電圧のRF振幅、周期、位相、DC電圧を指定で きます。交流電圧は2周波まで指定可能です。また、ユーザーが電極電圧の時間変化を記述したファイルを作成すれば、任意の電 圧時間変化を与えることも可能です。 ・バッファガスとして各種ガス種を選択することができます。また、 電離反応や励起反応などの各種反応の断面積データを内蔵しており、計算で考慮する反応式を選択することが出来ます (反応断面 積データは現在も随時追加しています) 。 ・バッファガスの密度分布や組成を任意に指定することが出来ます。

■出力項目

・イオン、電子の密度分布、ソースレート、温度分布、速度分布 ・中性粒子 (ラジカル種や励起種) のソースレート ・イオン、電子のターゲット (壁面) へのフラックス分布、エネルギーフラックス分布 ・電位分布、電界分布 ・イオン、電子のエネルギー分布関数

  • シリーズ

    PEGASUS 3次元気相シミュレータ 3次元プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール PIC-MCCM 3D

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PEGASUS 3次元気相シミュレータ 3次元プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール PIC-MCCM 3D 品番1件

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PIC-MCCM 3D

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