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PEGASUS 2次元気相シミュレータ 静磁場解析モジュール MSSM
ペガサスソフトウェア株式会社

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■特徴

静磁場解析モジュール (Magneto Static Simulation Module; MSSM) は、永久磁石や磁場コイルによる静磁場を解析するモジュールです。

■計算手法の概要

MSSMは、永久磁石やコイルによる静磁場を2次元体系で高速に解析するモジュールです。マグネトロンスパッタ装置内や磁場コイルを持つ装置内の静磁場を計算し、その結果をPIC-MCCMによるプラズマ解析に容易に引き渡すことができます。MSSMは株式会社ミューテック と共同開発しました。

■入力項目

次元直交メッシュで定義される、任意の容器形状 (ターゲット、基板など) 、永久磁石や磁場コイル、磁性体 (ヨークなど) の配置を指定することができます 永久磁石の磁化特性は、残留磁束密度 (Br) 、保持力 (bHc) で指定できます 磁場コイルは電流値が指定できます 磁性体 (S17C) の磁気特性データを内蔵してします 2次元軸対称モデル、あるいは2次元モデルを指定することができます。

■出力項目

磁束密度分布 (ベクトル図、コンター図) 磁束密度分布グラフ 磁力線図

  • シリーズ

    PEGASUS 2次元気相シミュレータ 静磁場解析モジュール MSSM

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