全てのカテゴリ

閲覧履歴

PEGASUS 2次元気相シミュレータ プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール PIC-MCCM
ペガサスソフトウェア株式会社

ペガサスソフトウェア株式会社の対応状況 返信の比較的早い企業

返答率

100.0%

返答時間

27.4時間


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■特徴

プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール (Particle In Cell with Monte Carlo Collision Module; PIC-MCCM) は、イオン、電子とも粒子モデルで取り 扱い、装置内のプラズマの密度分布等を計算するモジュールです。

■計算手法の概要

PIC-MCCM は、半導体製造装置やスパッタリング装置、機能性薄膜 の製造装置といった装置内の、非平衡低温プラズマの挙動を解析するた めのモジュールです。荷電粒子の移動は Particle-In-Cell (PIC) 法で モデル化し、荷電粒子と中性粒子の衝突現象 (弾性衝突、非弾性衝突、 電離、励起、電荷交換、解離など) は Monte Carlo collision (MCC) モデルで模擬しています。 2次元直交座標および2次元円柱座標 (軸対称) 上で、電極、アース、誘電体の配置および荷電粒子自身の分布に より決まるポテンシャル場の中の荷電粒子の運動を10e-10 (sec) 程度の 短い時間ステップで追跡していくことで、プラズマの挙動を計算します。

■入力項目

・2次元直交メッシュで定義される、任意の電極・誘電体・アース の配置を指定することができます。 ・電極ごとに印加電圧のRF振幅、周期、位相、DC電圧を指定で きます。交流電圧は2周波まで指定可能です。また、ユーザーが 電極電圧の時間変化を記述したファイルを作成すれば、任意の電 圧時間変化を与えることも可能です。 ・バッファガスとして各種ガス種を選択することができます。また、 電離反応や励起反応などの各種反応の断面積データを内蔵してお り、計算で考慮する反応式を選択することが出来ます。 ・バッファガスの密度分布や組成を任意に指定することが出来ます。

■出力項目

・イオン、電子の密度分布、ソースレート、温度分布、速度分布 ・中性粒子 (ラジカル種や励起種) のソースレート ・イオン、電子のターゲット (壁面) へのフラックス分布、エネルギーフラックス分布 ・電位分布、電界分布 ・イオン、電子のエネルギー分布関数

  • シリーズ

    PEGASUS 2次元気相シミュレータ プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール PIC-MCCM

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2025年7月26日にレビュー済み

顧客対応への満足度

電話とメールをいただき、早速、資料を送っていいただいた。

初回対応までの時間への満足度

27.38時間


この製品を共有する


40人以上が見ています


返答率: 100.0%

返答時間: 27.4時間


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

シミュレーションソフト注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


PEGASUS 2次元気相シミュレータ プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール PIC-MCCM 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)

PIC-MCCM

要見積もり

フィルターから探す

シミュレーションソフトをフィルターから探すことができます

使用用途

#設計検証 #製造工程最適化 #流体解析 #電磁解析 #交通都市計画

解析対象

構造解析 熱解析 分子動力学 人体モデル

技術方式

有限要素法 計算流体力学 マルチボディ解析

分野

機械工学 電気電子 化学材料 医学薬学 土木建築 社会システム

特徴

リアルタイム型 高精度型 軽量簡易型 クラウド型 VR連携型

この商品を見た方はこちらもチェックしています

シミュレーションソフトをもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

27.4時間


企業レビュー

5.0
  • 本社所在地:

関連キーワード

最近見た製品

Copyright © 2025 Metoree