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PEGASUS 2次元気相シミュレータ プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール PIC-MCCM
ペガサスソフトウェア株式会社

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この製品について

■特徴

プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール (Particle In Cell with Monte Carlo Collision Module; PIC-MCCM) は、イオン、電子とも粒子モデルで取り 扱い、装置内のプラズマの密度分布等を計算するモジュールです。

■計算手法の概要

PIC-MCCM は、半導体製造装置やスパッタリング装置、機能性薄膜 の製造装置といった装置内の、非平衡低温プラズマの挙動を解析するた めのモジュールです。荷電粒子の移動は Particle-In-Cell (PIC) 法で モデル化し、荷電粒子と中性粒子の衝突現象 (弾性衝突、非弾性衝突、 電離、励起、電荷交換、解離など) は Monte Carlo collision (MCC) モデルで模擬しています。 2次元直交座標および2次元円柱座標 (軸対称) 上で、電極、アース、誘電体の配置および荷電粒子自身の分布に より決まるポテンシャル場の中の荷電粒子の運動を10e-10 (sec) 程度の 短い時間ステップで追跡していくことで、プラズマの挙動を計算します。

■入力項目

・2次元直交メッシュで定義される、任意の電極・誘電体・アース の配置を指定することができます。 ・電極ごとに印加電圧のRF振幅、周期、位相、DC電圧を指定で きます。交流電圧は2周波まで指定可能です。また、ユーザーが 電極電圧の時間変化を記述したファイルを作成すれば、任意の電 圧時間変化を与えることも可能です。 ・バッファガスとして各種ガス種を選択することができます。また、 電離反応や励起反応などの各種反応の断面積データを内蔵してお り、計算で考慮する反応式を選択することが出来ます。 ・バッファガスの密度分布や組成を任意に指定することが出来ます。

■出力項目

・イオン、電子の密度分布、ソースレート、温度分布、速度分布 ・中性粒子 (ラジカル種や励起種) のソースレート ・イオン、電子のターゲット (壁面) へのフラックス分布、エネルギーフラックス分布 ・電位分布、電界分布 ・イオン、電子のエネルギー分布関数

  • シリーズ

    PEGASUS 2次元気相シミュレータ プラズマPICモンテカルロ衝突モジュール PIC-MCCM

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