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PEGASUS 2次元気相シミュレータ プラズマ・ハイブリッド・モジュール PHM
ペガサスソフトウェア株式会社



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この製品について

■特徴

プラズマ・ハイブリッド・モジュール (Plasma Hybrid Module; PHM) は、電子・イオンの密度を連続体モデルで、電子温度は電子エネルギー分布関数を求めるモンテカルロ計算、または、電子エネルギー方程式から求める ことで、プラズマ現象の解析を行います。

■計算手法の概要

PHMは、半導体製造装置やスパッタリング装置、機能性薄膜の製造装置といった装置内の、非平衡低温プラズマの挙動を解析するためのモジュールです。そして下記記載の5つのサブモジュールで構成されています。 1.電子モンテカルロシミュレーションモジュール ・電子のエネルギー分布関数 ・電子温度、電子輸送係数 ・電子衝突による各種ソースレート 2.電子エネルギー方程式モジュール 電子エネルギー分布関数をマクスウェル分布と仮定して電子温度を計算 3.ポアソン方程式モジュール 半陰解法によりポアソン方程式の解を計算 4.ドリフト拡散モジュール ドリフト拡散モデルにより電子・イオン連続の式を計算 5.電磁界モジュール ICPコイルがあるときに用いられ、パワー吸収分布、 Eθ電界分布を計算 2次元直交座標および2次元円柱座標 (軸対称) 上で、電子モンテ カルロシミュレーションモジュール、ポアソン方程式モジュール、ドリ フト拡散モジュール、電磁界モジュールを交互に用いながらプラズマの 挙動を計算します。

■入力項目

・2次元直交メッシュで定義される任意の電極、誘電体、およびICPコイルの配置を指定することができます。 ・電極ごとに印加電圧のRF振幅、周期、位相、DC電圧を指定で きます。交流電圧は2周波まで指定可能です。またユーザーが 電極電圧の時間変化を記述したファイルを作成すれば、任意の電圧時間変化を与えることも可能です。ICPコイルはパワー入力となります。 ・バッファガスとして各種ガス種を選択することができます。また、 電離反応や励起反応などの各種反応の断面積データを内蔵しており、 計算で考慮する反応式を選択することが出来ます (反応断面積データ は現在も随時追加しています) 。

  • シリーズ

    PEGASUS 2次元気相シミュレータ プラズマ・ハイブリッド・モジュール PHM

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