全てのカテゴリ

閲覧履歴

PEGASUS 2次元気相シミュレータ プラズマ・ハイブリッド・モジュール PHM
ペガサスソフトウェア株式会社

ペガサスソフトウェア株式会社の対応状況

返信の比較的早い企業 評判のとても良い企業

返答率

100.0%

返答時間

27.4時間


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■特徴

プラズマ・ハイブリッド・モジュール (Plasma Hybrid Module; PHM) は、電子・イオンの密度を連続体モデルで、電子温度は電子エネルギー分布関数を求めるモンテカルロ計算、または、電子エネルギー方程式から求める ことで、プラズマ現象の解析を行います。

■計算手法の概要

PHMは、半導体製造装置やスパッタリング装置、機能性薄膜の製造装置といった装置内の、非平衡低温プラズマの挙動を解析するためのモジュールです。そして下記記載の5つのサブモジュールで構成されています。 1.電子モンテカルロシミュレーションモジュール ・電子のエネルギー分布関数 ・電子温度、電子輸送係数 ・電子衝突による各種ソースレート 2.電子エネルギー方程式モジュール 電子エネルギー分布関数をマクスウェル分布と仮定して電子温度を計算 3.ポアソン方程式モジュール 半陰解法によりポアソン方程式の解を計算 4.ドリフト拡散モジュール ドリフト拡散モデルにより電子・イオン連続の式を計算 5.電磁界モジュール ICPコイルがあるときに用いられ、パワー吸収分布、 Eθ電界分布を計算 2次元直交座標および2次元円柱座標 (軸対称) 上で、電子モンテ カルロシミュレーションモジュール、ポアソン方程式モジュール、ドリ フト拡散モジュール、電磁界モジュールを交互に用いながらプラズマの 挙動を計算します。

■入力項目

・2次元直交メッシュで定義される任意の電極、誘電体、およびICPコイルの配置を指定することができます。 ・電極ごとに印加電圧のRF振幅、周期、位相、DC電圧を指定で きます。交流電圧は2周波まで指定可能です。またユーザーが 電極電圧の時間変化を記述したファイルを作成すれば、任意の電圧時間変化を与えることも可能です。ICPコイルはパワー入力となります。 ・バッファガスとして各種ガス種を選択することができます。また、 電離反応や励起反応などの各種反応の断面積データを内蔵しており、 計算で考慮する反応式を選択することが出来ます (反応断面積データ は現在も随時追加しています) 。

  • シリーズ

    PEGASUS 2次元気相シミュレータ プラズマ・ハイブリッド・モジュール PHM

企業レビュー

レビューは全てメトリー経由で実際に見積もりをしたユーザーによるものです

5.0

評判がとても良い

5
100.0%
4
0.0%
3
0.0%
2
0.0%
1
0.0%

2025年7月26日にレビュー

電話とメールをいただき、早速、資料を送っていいただいた。

初回返答までの時間・27.38時間

この製品を共有する


40人以上が見ています


返答率: 100.0%

返答時間: 27.4時間


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

見積もりの使い方

PEGASUS 2次元気相シミュレータ プラズマ・ハイブリッド・モジュール PHM 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)

PHM

要見積もり

シミュレーションソフト注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

フィルターから探す

シミュレーションソフトをフィルターから探すことができます

使用用途

#設計検証 #製造工程最適化 #流体解析 #電磁解析 #交通都市計画

解析対象

構造解析 熱解析 分子動力学 人体モデル

技術方式

有限要素法 計算流体力学 マルチボディ解析

分野

機械工学 電気電子 化学材料 医学薬学 土木建築 社会システム

特徴

リアルタイム型 高精度型 軽量簡易型 クラウド型 VR連携型

計算手法

静的陽解法 有限要素法 時間積分

この商品を見た方はこちらもチェックしています

シミュレーションソフトをもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

27.4時間


企業レビュー

5.0

会社概要

ペガサスソフトウェア株式会社は、科学技術分野向けの数値シミュレーションツール「PEGASUS」シリーズの開発・提供を行うソフトウェア企業です。 PEGASUSは、プラズマ処理・真空技術・半導体製造・材料開発の分野に...

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都
Copyright © 2025 Metoree