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半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用圧力調整器 エクセレント・PM-シリーズ (パネル・マウント専用モデル) EX-100-PM2-EX-100-PM2 (パネルマウント仕様)
半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用圧力調整器 エクセレント・PM-シリーズ (パネル・マウント専用モデル) EX-100-PM2-株式会社千代田精機

半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用圧力調整器 エクセレント・PM-シリーズ (パネル・マウント専用モデル) EX-100-PM2
株式会社千代田精機

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この製品について

■特長

・様々のガス制御機器に組み込むことができます。 ・ボックス内配管が容易に出来ます。 ・要部は、SUS316を使用しています。 ・洗浄から組立・検査までクリーン・ルームCL1000で実施しています。 ・禁油、禁水処理品です。 ・本体接続部は全て、差込み溶接構造です。

  • シリーズ

    半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用圧力調整器 エクセレント・PM-シリーズ (パネル・マウント専用モデル) EX-100-PM2

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半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用圧力調整器 エクセレント・PM-シリーズ (パネル・マウント専用モデル) EX-100-PM2 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 種別フィルタ 材質 適用ガス 適用ガス (その他) P1入口圧力 (MPa) 上限 P2使用圧力 (MPa) 流量 入口形状 (詳細) 出口形状 (詳細) 一般 / 認定 シリーズ
半導体用特殊材料ガス・超高純度ガス用圧力調整器 エクセレント・PM-シリーズ (パネル・マウント専用モデル) EX-100-PM2-品番-EX-100-PM2 (パネルマウント仕様)

EX-100-PM2 (パネルマウント仕様)

要見積もり

半導体

ステンレス

N2／Air／Ar／C2H2／C2H4／C3H8／CH4／CO2／H2／He／O2／Cl2／NH3

表記省略

21.6

0.1~0.99

9 (m3/h) 150 (L/min)

1/4″VCR オス

1/4″VCR オス

一般品

EX-M/TD/PM

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使用圧力範囲 MPa

0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 100

圧力計二次側 MPa

0 - 0.4 0.4 - 0.8 0.8 - 2

圧力計出口側 MPa

0 0.2 0.4 1 1.6 2.5

使用温度範囲 ℃

-40 - -20 -20 - 0 0 - 50 50 - 100

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会社概要

株式会社千代田精機は、1948年に設立された、ガス圧力調整器、ガス溶断器、ガス溶接器、ガス切断器の専門メーカーです。 戦後間もない時期に創業し、ガスバーナーの修理工場を起源としています。現在は主に高圧ガスの制御を担う精...

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  • 本社所在地: 兵庫県

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