ガスフィルター用ジャケットヒーター
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この製品について

■ガスフィルターベーキング用ジャケットヒーターFBRシリーズは、200℃の高温でフィルターをベーキングする画期的なベーキングヒーターです。・FBRシリーズは、フィルターから簡単に脱着可能です。
・200℃のベーキングが可能です。
・コントローラーユニットには、過熱防止インターロック機能と断線検出機能がついているため安全です。
・温度、時間などの設定は遠隔操作できるデジタル式コントローラーにより操作が簡単です。
・ヒーターユニットは薄型、軽量でスペースを取りません。

一旦フィルター内部の金属表面やエレメントに大気中の水分を吸着させてしまうと、N2パージだけでは殆ど取り除くことはできません。また、雰囲気ガス中にH2OやO2が存在すれば、室温での水分との反応により、フィルター内、およびプロセスチャンバー内の反応生成物による汚染や腐食などが生じます。そこで水分・その他の脱ガス成分を脱着させるには200℃以上でのベーキングが一番効果的です。

ピュアロンジャパンでは、フィルターを200℃でベーキングする画期的なベーキングシステムを開発致しました。これによりAPIMS測定で脱ガス量 (水分量) 1.2ppbを達成致しました。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ガスフィルター用ジャケットヒーター

取扱企業
株式会社ピー･ジェイ

カテゴリ

熱源

ヒーター

熱源

工業用ヒーター

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ガスフィルター用ジャケットヒーター品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最高加熱温度	電源	消費電力	加熱タイマー最大使用時間	温度調節	システム構成	外径	内径	長さ	オプション	付属品
	FBR-2	要見積もり	200℃	AC100V	60W ~ 100W (0.6A ~ 1A)	100Hrs (デジタル設定)	PID制御 (デジタル設定)	ヒーターユニットとコントローラーユニット	60.0	43.0	80.0	マルチチャンネル・スキャン式コントローラー、その他オプション対応可能です。	電源コード、中継コード