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ベント用フィルター-FBA/FBAX-4-02VR
ベント用フィルター-株式会社ピー･ジェイ

ベント用フィルター
株式会社ピー･ジェイ

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この製品について

半導体製造装置に使用される、ロードロック室 (Load lock chamber) や搬送チャンバー (Transfer chamber) 等において、真空破壊を行う際に発生してしまうパーティクルの巻き上げや過渡的な乱流の発生は、ウェハーへのパーティクル付着やダメージを与える可能性があります。従来は窒素ガスをゆっくり導入するスローベントを行うことで同現象を防いでおりましたが、ピュアロンジャパンのベント用フィルターを使用することで、そのスローベントが不要となり、スループットが大幅に向上します。 全ての材質がSUS316Lで構成されています。耐熱性に優れています。高い濾過精度を有します。形状がコップ型のため先端からのガス噴出が出来ます。

  • シリーズ

    ベント用フィルター

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ベント用フィルター 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 濾過精度 常用圧力 最高使用温度 ベーキング温度 接ガス部材質 継手 外形寸法 H (mm)
ベント用フィルター-品番-FBA/FBAX-4-02VR

FBA/FBAX-4-02VR

要見積もり

0.003μm/0.0015μm

1MPa未満

400℃

400℃

SUS316L

1/4"、3/8"、1/2”ストレートチューブ、ガスケットシール、コンプレッション、各種フランジ対応

100.5

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社ピー･ジェイ

会社概要

株式会社ピー・ジェイは、株式会社ピュアロンジャパンの製品を販売する会社です。 2006年に株式会社ピュアロンジャパンの販売部門が独立して設立されました。国内だけでなく、海外への販売も行っています。エレクトロニクス関連と...

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  • 本社所在地: 福島県

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