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製造装置用フィルタユニット:日立産機システム-PCU-0606DB-E
製造装置用フィルタユニット:日立産機システム-九州機電株式会社

製造装置用フィルタユニット:日立産機システム
九州機電株式会社

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この製品について

日立のファンフィルタユニットは高効率ファンを使用することにより薄型・省エネ・軽量化を実現しました。 半導体製造装置内のFFU上部に設置する電機品が増えても、風速などの仕様を変更せずに薄型化することができます。

■装置用FFUの特長

・半導体製造装置に組み込みやすいように、軽量薄型を実現しました。 ・ファン総合効率の高さから発熱が少なく温度上昇による影響が小さいモータ・ファンの高効率を実現しています。 ・ケミカルフィルタ等の圧力損失を考慮して機外静圧98Pa対応可能にしております。 ・低消費電力を実現し、省エネに貢献する設計になっています。 ・1台のファンで大風量を実現しているため、運用性に優れカスタマイズ品に柔軟に対応します。 ・外部風速制御にもフレキシブルに対応可能です。 ・全数検査しており、安心安全のサービス体制を整えています。 ・豊富な電源バリエーションをもっており、4種類の電源から選択できます。 (1φ AC100V、1φ AC200V、DC 48V、3φ AC200V)

  • シリーズ

    製造装置用フィルタユニット:日立産機システム

企業レビュー 5.0

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2025年2月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

問い合わせ内容に即した回答を速やかにいただけました。

初回対応までの時間への満足度

0.36時間

Metoree経由で見積もり

2025年2月13日にレビュー済み

顧客対応への満足度

依頼した以外の資料等も率先して提供して頂いた為

初回対応までの時間への満足度

6.85時間

Metoree経由で見積もり

2025年1月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

見積が早く、こちらの要求に対して理解して頂けた内容だった。

初回対応までの時間への満足度

14.39時間

Metoree経由で見積もり

2024年9月5日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速かつ丁寧なご対応

初回対応までの時間への満足度

16.71時間


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製造装置用フィルタユニット:日立産機システム 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) フィルタ (二次側ラス網付) 試験粒子径 集じん効率 (%) 製品サイズ (mm) 製品高さ (mm) 風量 (m3/min) 消費電力 (W) 定格電源電圧 (V) 質量 (kg) 風量調整範囲 (m3/min)
製造装置用フィルタユニット:日立産機システム-品番-PCU-0606DB-E

PCU-0606DB-E

要見積もり

PTFE

0.1 μm

99.999

610×610

98

6.9±20% (風速 0.35m/s 時)

95±20%

単相 AC100V/200V 共用 50/60Hz

10

0 ~ 6.9

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

5.0

会社概要

九州機電株式会社は、日立販売代理店として空調機器、産業機械、空気圧縮機、エレベーター、エスカレーター、照明器具などの電気・機械製品の販売だけでなく、今話題の太陽光発電(PPA)、バイオマス発電、廃熱回収ユニットなどの省エ...

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  • 本社所在地: 福岡県
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