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高精度・高速搬送技術 ウエハ供給テーピング装置 NEXUS取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | スループット | 装置サイズ | 対応ウエハサイズ | 対応ワークサイズ | ピックアップ荷重 | テーピング収納時 位置精度 | 必要用力 | タクトタイム | 加工点 | オプション機能 |
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NEXUS |
要見積もり |
36,000UPH (100msec) |
W1,300 × D1,100 × H2,150 (mm) |
6・8inch (切替可能) |
0.25mm~ (厚み0.05mm以上) |
0.5N以下 (ニードル/コレット間の同期制御不要 特許取得) |
XY : ±40μm θ : ±5度 |
三相 200V、ドライエア |
100msec (36,000UPH) |
最大11Pos |
・6面外観検査 |
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