ビーム・プラズマ電子線照射装置 EB-XW
日新電機株式会社

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この製品について

■概要低温ポリシリコン薄膜トランジスタに代表される高精細ディスプレイ駆動用薄膜トランジスタ製造における電気特性制御プロセスに不可欠なイオン注入装置を提供します。

特長
■加速管・電源タンク一体化により、装置をコンパクト化従来型に比べ、30％の小型化を実現しました

■開放空間での作業によるメンテナンス時の安全性確保・加速管・電源タンクを引き出せるので、開放空間で加速管部のメンテナンス作業が可能です。
・照射室が可動することにより、広いスペースで材料搬送部及び電子線照射装置のメンテナンスが可能です。

■遮蔽主材料を鉛から鉄材に変更し、価格低減・環境へ配慮・価格低減
・環境への配慮