レーザービーム位置安定化システム Aligna-レーザービーム位置安定化システム Aligna

レーザービーム位置安定化システム Aligna
株式会社ルクスレイ

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この製品について

■概要TEM Messtechnik社のレーザービーム位置安定化システム Alignaは、レーザーのビーム位置安定化、レーザーと装置間の振動補正、レーザービームの入射角度補正など、レーザービームの位置や角度が安定しなければならないアプリケーションに最適なシステムです。 また、スキャニングにも最適で、ドリリング・トリパニングなど加工用にビームを高速スキャンする事も可能です。

■アプリケーション・高精度マテリアルプロセッシング
・ドリフト、ゆらぎの補正
・光学部品の動きによる外乱の補正 (ディレイライン、チューニング、ズーム光学系など) 
・1台のレーザーから複数のアプリケーションへのスイッチング
・光学セットアップの特性評価のための多次元スキャン
・シングルモードファイバーなどへの自動カップリングと最適化
・レーザー光軸の自動アライメント
・複数のテーブルや部屋を跨ぐレーザー光軸位置ずれの解消

■特徴・全自動での高精度ビーム位置・角度制御
・セルフラーニング機能搭載
・モジュラーシステムを採用
・2D・4Dスキャン可能 (位置 X,Y、角度 X,Y) 
・既存システムへの組み込み可能
・最大4ビームまで1システムで対応可能
・パルスレーザー (0.1Hz～200MHz) およびCWレーザーのどちらにも使用可能
・サーボループ精度 : < 1μm, < 1μrad (typ. 10～100 nm) 
・標準ディテクタは380～1,100 nmの波長に対応
・オプションディテクタは 190 nm ～ 10 μmの波長に対応
・広いスキャンレンジ : > 18°
・高い分解能 : < 10 nm, < 10 nrad
・早い駆動スピード : 最大5 kHz
・モーター駆動ミラーマウントとピエゾ駆動ホルダの組み合わせ動作可能
・フルコンピュータコントロール (USB, シリアル,Ethernet、制御・解析ソフトは標準で同梱
・パワーメータなどのの測定器やステージなどの同時制御可能