超精密研磨材 POLYPAS (FPシリーズ)-POLYPAS (FPシリーズ)

超精密研磨材 POLYPAS (FPシリーズ)
富士紡ホールディングス株式会社

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この製品について

シリコンウエハー、半導体材料、光学レンズ、金属などのストックリムーバル (一次研磨) 用に開発された不織布タイプの研磨材です。ストックリムーバル時の要求品質に応じて、軟質から硬質タイプまでラインアップを幅広く用意しております。

■用途・シリコン・化合物半導体ウエハーの一次及び仕上げ研磨用
・光学レンズ用・各種光学ガラス部品の研磨用
・その他、プラスチックレンズ・ステンレス・銅板等の研磨用

■特徴・高平担性
・低スクラッチ

■二次加工及び出荷形態・POLYPASシリーズは全ての研磨パッドの裏面に両面テープ付で供給が可能です。
・ご希望により、パッドに溝加工が可能です。
・POLYPASパッドの出荷形態はご希望により、丸形、四角形、ドーナツ形など、指定サイズ、形状に応じて、いずれにも対応できます。