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業界トップレベルの処理能力 アクティブアライメント装置取扱企業
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アクティブアライメント装置の製品6点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | レンズホルダー/VCMサイズ | UPH | VCMトレイ・ハンドリング 供給方法 | VCMトレイ・ハンドリング トレイサイズ | VCMトレイ・ハンドリング 搬送方法 | VCMハンドリング精度 | VCMトレイ・ハンドリング 供給マガジン数 | VCMトレイ・ハンドリング 供給トレイ数 | VCMトレイ・ハンドリング マガジン数 | センサーモジュール・ハンドリング 供給方法 | センサーモジュール・ハンドリング キャリア/トレイサイズ | センサーモジュール・ハンドリング 搬送方法 | センサーモジュール・ハンドリング 搬送精度 | センサーモジュール・ハンドリング 供給マガジン数 | センサーモジュール・ハンドリング 供給キャリア/トレイ数 | センサーモジュール・ハンドリング マガジン高さ | ディスペンス方式 | ディスペンサ数 | ディスペンスエリア | ディスペンス UV方式 | ディスペンス パワー | ディスペンス後検査 | AAシステム AAステージ数 | AAシステム Yawチルト角度 | AAシステム Row/Pitchチルト角度 | AAシステム 最大画角 (FOV) | AAシステム XYθステージ繰り返し位置決め精度 | AAシステム チャートサイズ | モジュール排出方法 | モジュール排出 トレイサイズ |
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アクティブアライメント装置 |
要見積もり |
25mm×25mm (最大) ※大型センサーにも対応可能:1"~4/3" |
量産装置:UPH1,500 ※開発中 (プロト装置:UPH1,000) |
ソフトトレイ |
~250mm×150mm |
吸着搬送 |
±0.01mm |
2マガジン |
10トレイ/マガジン |
<265mm |
キャリアorハードトレイ |
~230mm×110mm |
吸着搬送 |
±0.01mm |
4マガジン |
10キャリア/マガジン |
<145mm |
エアディスペンサ |
2ディスペンサ |
VCM:~25×25mm |
LED (365nm) |
>2,000mW |
カメラによる塗布位置、パターン、線幅検査 |
4ステージ |
±3° |
±3° |
<150° (適正リレーレンズ&チャート距離時) |
XY:<±0.5μm |
540mm×390mm |
ハードトレイ (JEDECトレイ) |
~322.6mm×135.9mm (Max.) |