半導体工場向け製品ウェハー搬送用真空ピンセット
大日貿易株式会社

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この製品について

■商品情報厳選された素材と精密加工で定評のあるフロロメカニック (株) 製の国産真空ピンセットです。半導体ウェハー専用に設計され、導電性のCシリーズと耐薬品性のFシリーズがあります。それぞれのシリーズに自在軸 (X) と固定軸 (Y.Z) があり、125mm～300mmウェハー用の先端チップが用意されています。お客様の用途に合わせて組み合わせが可能です。

導電性のCシリーズと耐薬品性のFシリーズにはそれぞれ下記3種類の接続方式があります。X自在軸とZ固定軸は同じチップが取り付けられます。X自在軸:軸線に対して40°まで自由に角度を付けられます。Y固定軸:8″、12″ウェハーなど重量物に充分な強度があります。Z固定軸:X自在軸用のチップが使えます。

■導電性Cシリーズ導電性Cシリーズにはシリコンウェハー用チップと化合物半導体、薄いウェハー用のボーラスチップがあります。真空ピンセット本体は炭素繊維入りナイロン樹脂 (トレカ) を用いています。

導電性の効果を確実にするために、導電性チューブを使用してアースすることをお薦めします。導電性 スパイラルチューブには851-Mと851-Lをご用意しております。アースする真空配管が無い場合には、アース付「導電性FV-W」ポンプも用意しております。