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高機能製品 半導体容器 Paragon 6インチ 帯電防止バイピッチキャリア FB15A101-FB15A101
高機能製品 半導体容器 Paragon 6インチ 帯電防止バイピッチキャリア FB15A101-冨士ベークライト株式会社

高機能製品 半導体容器 Paragon 6インチ 帯電防止バイピッチキャリア FB15A101
冨士ベークライト株式会社

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この製品について

■これからの半導体容器のスタンダード Paragon

半導体・液晶向け自社ブランド「パラゴン」。高純度材料で作る半導体ウエハキャリアは、アウトガスや含有金属によるウエハ汚染を低減します。 さらに耐摩耗性と寸法安定性に優れ、パーティクルの発生やウエハのチッピングを抑制するため長期使用が可能です。Paragonは半導体及び液晶関連で使用する容器の総称です。「Paragon」は一般に“規範、逸品、逸材”と訳されます。冨士ベークライトも半導体業界の規範となる製品の開発を目指しています。

■新グレードの導入

新グレード材料FB-0437を開発しました。これにより従来2グレードあった材料FB-0431 (標準材) とFB-0432 (耐熱材) を1グレードFB-0437に統一します。2022年4月以降は、FB-0437材での製品出荷となります。

■特徴

・ParagonキャリアFB15A101は、前工程キャリアとして実績のあるe-mateX®FB-0430系材料を使用しており、後工程での薄ウエハ (Backgrinded Wafer) 用キャリアとして設計した13枚スロットキャリアです。 ・従来溝を切削加工により13枚にしたキャリアと異なり、金型による製品の安定した品質を提供いたします。 ・さらに薄ウエハのたわみを押さえるために櫛歯長さを15mmに延長しています。

  • シリーズ

    高機能製品 半導体容器 Paragon 6インチ 帯電防止バイピッチキャリア FB15A101

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高機能製品 半導体容器 Paragon 6インチ 帯電防止バイピッチキャリア FB15A101 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) スロット 外形寸法 D1寸法 溝ピッチ ハンドル
高機能製品 半導体容器 Paragon 6インチ 帯電防止バイピッチキャリア FB15A101-品番-FB15A101

FB15A101

要見積もり

13枚

全長 (A1) 155.48.0mm×フランジ外幅 (A2) 177.5mm×全高 (A3) 170.7mm

22.49mm

9.525mm

有り・無し

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  • 本社所在地: 岡山県
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