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真空関連機器 ピエゾバルブ PEV-1-PEV-1
真空関連機器 ピエゾバルブ PEV-1-Kimball Physics Inc.

真空関連機器 ピエゾバルブ PEV-1
Kimball Physics Inc.

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この製品について

■KEY HIGH VACUUM PRODUCTS社製「PEV-1」

圧電素子 (ピエゾ) を使用したガスフローバルブのPEV-1は、0〜100Vの電圧を供給することによりガス流量を正確且つ迅速にコントロールすることが出来ます。応答速度は2ミリ秒であり、50PSIまでのガスを使用可能です。閉鎖時のガス漏れも 1×10-9 torrと非常に少なくリークバルブとしても最適です。半導体製造装置、核融合チャンバー、イオン研究、プラズマ研究等各種ガス・プロセス・コントロールに最適です。

■仕様

・ガス流量範囲:0〜500 SCCM ・応答速度:2ミリ秒 ・外部リークレート:1×10-9 torr ・使用電圧:0〜100VDC (10μA以下) ・動作温度範囲:+10〜+60℃ ・材質:SUS ・継手:1/4″スウェジロックまたは1/4″VCR ・電気入力部:BNC ・重量:800g ・その他:非通電時「閉」仕様

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    真空関連機器 ピエゾバルブ PEV-1

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真空関連機器 ピエゾバルブ PEV-1 品番1件

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