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面発光レーザー作製用酸化装置 リアルタイムモニター付 HiVOX6001-HiVOX6001
面発光レーザー作製用酸化装置 リアルタイムモニター付 HiVOX6001-株式会社エピクエスト

面発光レーザー作製用酸化装置 リアルタイムモニター付 HiVOX6001
株式会社エピクエスト

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この製品について

面発光レーザー (VCSEL) 量産のためのキープロセスである電流狭窄層作製装置です。販売から15年以上の実績を誇り、多くのお客様に高評価をいただいているベストセラー機です。

■特徴

・リアルタイムでリアクタ内の酸化サンプルの観察が可能 ・優れた酸化性能 (面内均一性、再現性) ・自動運転 (立上げ、立下げ、自動酸化モード) ・搬送ロボットの接続拡張

  • シリーズ

    面発光レーザー作製用酸化装置 リアルタイムモニター付 HiVOX6001

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面発光レーザー作製用酸化装置 リアルタイムモニター付 HiVOX6001 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 基板サイズ 基板加熱 最高加熱温度 原料供給系 真空排気系 制御装置 酸化性能 (酸化幅) オプション
面発光レーザー作製用酸化装置 リアルタイムモニター付 HiVOX6001-品番-HiVOX6001

HiVOX6001

要見積もり

Φ6インチ×1枚、Φ4インチ×1枚、Φ3インチ×3枚、Φ2インチ×7枚

抵抗加熱方式

600℃ (制御用熱電対値)

液体マスフローコントローラ方式、熱式気化器 (MAX.180℃)

ダイヤフラムポンプ

インターロック用シーケンスコントローラ

面内均一性/10μm±0.4μm (周辺部除く)
再現性/10μm±0.4μm (ランtoラン)
※但しAlAsエピ層の特性による。

ローダー/アンローダー

この商品の取り扱い会社情報

株式会社エピクエスト

会社概要

株式会社エピクエストは2000年に設立し、主にMBE装置、MOCVD装置の開発、製造を行っている会社です。 MBEやMOCVD装置は、天然にない人工結晶を作製する技術であるエピキタシー技術を基盤としており、結晶を成...

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  • 本社所在地: 京都府

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