面発光レーザー作製用酸化装置 VOX6001
株式会社エピクエスト

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この製品について

面発光レーザー (VCSEL) 量産のためのキープロセスである電流狭窄層作製装置です。販売から15年以上の実績を誇り、多くのお客様に高評価をいただいているベストセラー機です。

■特徴・リアルタイムでリアクタ内の酸化サンプルの観察が可能
・優れた酸化性能 (面内均一性、再現性) 
・自動運転 (立上げ、立下げ、自動酸化モード) 
・搬送ロボットの接続拡張

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
面発光レーザー作製用酸化装置 VOX6001

取扱企業
株式会社エピクエスト

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面発光レーザー作製用酸化装置 VOX6001 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	基板サイズ	基板加熱	最高加熱温度	原料供給系	真空排気系	制御装置	酸化性能 (酸化幅)	オプション
	VOX6001	要見積もり	Φ6インチ×1枚、Φ4インチ×1枚、Φ3インチ×3枚、Φ2インチ×7枚	抵抗加熱方式	600℃ (制御用熱電対値)	液体マスフローコントローラ方式、熱式気化器 (MAX.180℃)	ダイヤフラムポンプ	インターロック用シーケンスコントローラ	面内均一性/10μm±0.4μm (周辺部除く) 再現性/10μm±0.4μm (ランtoラン) ※但しAlAsエピ層の特性による。	ローダー/アンローダー

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株式会社エピクエスト

会社概要

株式会社エピクエストは2000年に設立し、主にMBE装置、MOCVD装置の開発、製造を行っている会社です。 MBEやMOCVD装置は、天然にない人工結晶を作製する技術であるエピキタシー技術を基盤としており、結晶を成...

本社所在地: 京都府

面発光レーザー作製用酸化装置 VOX6001 株式会社エピクエスト

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■特徴

面発光レーザー作製用酸化装置 VOX6001 品番1件

VOX6001

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