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FA 半導体関連システム プラズマクリーナー PSX307/PSX307-HSA-PSX307
FA 半導体関連システム プラズマクリーナー PSX307/PSX307-HSA-パナソニックインダストリー株式会社

FA 半導体関連システム プラズマクリーナー PSX307/PSX307-HSA
パナソニックインダストリー株式会社

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この製品について

■PSX307は自動搬送付きの基板用平行平板型プラズマクリーナーです。ローダー・アンローダー付きとインライン仕様を選択でき、基板寸法により下記2種類のモデルが選択できます。

・S type 基板寸法：L 50 mm × W 20 mm to L 250 mm × W 75 mm ・M type 基板寸法：L 50 mm × W 20 mm to L 330 mm × W 120 mm

■特長 (PSX307シリーズ共通)

・面内均一性とエッチングレートを両立したチャンバー構成 ・独自の昇降ユニットにより、反りのある薄い基板や裏面に部品がある基板にも対応可能 ・当社独自のプラズマモニター機能により異常放電を回避し、ダメージレス処理を実現 ・オンライン化によるトレーサビリティ確保

■用途例

・ワイヤーボンディング、フリップチップ、ボンディングの接合性向上 ・モールド、アンダーフィルの密着性向上

■適用事例 (基盤レベル)

・Auワイヤーボンディング:接合信頼性の向上 ・Cuワイヤーボンディング:フッ素残留物除去 ・モールド封止樹脂:樹脂·レジスト密着性向上 ・超音波フリップ接合:バンプ接合品質の向上 ・LEDワイヤーボンディング:シロキサン汚染除去 ・アンダーフィル:密着性改善·生産性向上 メンテナンス支援　アプリケーション (PSX307-HSA)

■プラズマクリーナー (PSX307) の設備状態を可視化し、予知保全を支援

・設備状態変化をスコア化し、最適な時期でのメンテナンスを実現 ・最大100台まで状態確認が可能で計画的な運用が可能 ・既存のプラズマクリーナー (PSX307) に適用可能。特殊な改造は不要

  • シリーズ

    FA 半導体関連システム プラズマクリーナー PSX307/PSX307-HSA

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