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シリーズ
多成分ガス混合装置 (MU-3000シリーズ)取扱企業
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 発生最大流量 | 搭載MFC | ガス種 | 流量レンジ | 接ガス部材質 | 流量精度 | 流量再現性 | 流量直進性 | 原料ガス供給圧力 | 二次側使用圧力 | 流量設定方法 | 濃度設定方法 | 制御 | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
MU (2 Line) |
要見積もり |
50SLM |
SEC-N102 series (Max 6 Line) |
ご指定ガス (腐食性ガスは別途ご相談ください) |
2 ~ 100% F.S. |
SUS304, SUS316, FKM |
±1% S.P. |
±0.2% F.S. |
±0.5% F.S. |
0.1 ~ 0.45 MPa (G) |
大気圧 ~ 0.25 MPa (G) |
総発生流量設定 |
発生流量設定 |
専用ソフトウェアによるプログラム運転 |
AC 100V |
