パイオファインカートリッジ (半導体用ガス精製器) MODEL-PFシリーズ-PF-05-H

パイオファインカートリッジ (半導体用ガス精製器) MODEL-PFシリーズ-エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

パイオファインカートリッジ (半導体用ガス精製器) MODEL-PFシリーズ-PF-05-H

パイオファインカートリッジ (半導体用ガス精製器) MODEL-PFシリーズ
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

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この製品について

■特長・独自に開発した触媒の使用により、各種半導体用ガスの精製に優れた性能を発揮
・精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を実現し、よりユースポイント近くでの精製が可能
・高性能フィルターおよび出荷前のベーキング処理によりパーティクル/脱ガスについての万全の対策を施している
・特別なユーティリティの必要はない (N型、B型は再生可能) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
パイオファインカートリッジ (半導体用ガス精製器) MODEL-PFシリーズ

取扱企業
エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社

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パイオファインカートリッジ (半導体用ガス精製器) MODEL-PFシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	適用ガス	最大圧力 (Mpa)	温度 (℃)	各不純物 (vol,ppb) O2	各不純物 (vol,ppb) H2O	精製ガス量 (ℓ / min (nor) )	精製能力 (m3 (nor) )	重量 (kg)
	PF-05-H	要見積もり	AsH3、PH3、SiH4、Si2H6、H2S、H2Se、etc	Inlet…0.5 Outlet…⊿0.1以下	5 ~ 35	Inlet…500 Outlet…≦10	Inlet…1,000 Outlet…≦13	0.5	80	1.8

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会社概要

日本パイオニクス株式会社は、常温吸着式精製装置や常温吸着式空気精製装置といったガス精製装置の製造販売、除害筒・検知剤やアンモニア分解除害装置など排ガス処理装置の製造販売、室圧モニターや高精度圧力センサなど各種計測機器の製...

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本社所在地: 神奈川県

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