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透明基板異物検査装置 YPI－MXシリーズ (自動搬送) YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA-YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA
透明基板異物検査装置 YPI－MXシリーズ (自動搬送) YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA-ファーストゲート株式会社

透明基板異物検査装置 YPI－MXシリーズ (自動搬送) YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA
ファーストゲート株式会社

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この製品について

■ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置

・透明ガラス基板専用機にして、各種裏面梨地基板にも対応。 ・センサ自動焦点機構で高精度な表裏分離を可能にしています。 ・検査対象基板 ：石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板、エビ膜付きSiC基板等 ・最小検出感度 ：石英ガラス基板時、0.2μm

  • シリーズ

    透明基板異物検査装置 YPI－MXシリーズ (自動搬送) YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA

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透明基板異物検査装置 YPI－MXシリーズ (自動搬送) YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応基板サイズ スキャン方式 スループット ワーク設置 装置外形寸法 本体重量 消費電力 メーカー名
透明基板異物検査装置 YPI－MXシリーズ (自動搬送) YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA-品番-YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA

YPI-MX-XYA／YPI-MX-ΘA

要見積もり

最大200mm×200mm
(200mm以上の場合はご相談ください)

X-Yスキャン／Θ-Xスキャン (螺旋スキャン)

200mmを約4分／Φ200mmを約3分
(高速スキャン対応可能)

搬送ロボット (裏面吸着／エッジクランプ)

W1,800mm×D1,230mm×H2,151mm

約1,000kg

約1.5kW (100V)

YGK

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電源電圧 V

90 100 200

処理能力 KG/h

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500

重量 kg

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 40

搬送ベルト幅 mm

400 - 500 500 - 700 700 - 800

最大巻き径 mm

300 - 400 400 - 600 600 - 700

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ファーストゲート株式会社

会社概要

ファーストゲート株式会社は「世界でオンリーワン・ナンバーワンのハイエンドな製品をご提供する」をモットーに半導体製造装置における流体制御コンポーネント部品の販売を主な事業内容とする企業です。
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  • 本社所在地: 東京都

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