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透明基板異物検査装置 YPI-MXシリーズ (マニュアル) YPI-MX-XY/YPI-MX-Θ取扱企業
ファーストゲート株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対応基板サイズ | スキャン方式 | スループット | ワーク設置 | 装置外形寸法 | 本体重量 | 消費電力 | 検査対象基板 | メーカー名 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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YPI-MX-XY/YPI-MX-Θ |
要見積もり |
最大200mm×200mm |
X-Yスキャン/Θ-Xスキャン (螺旋スキャン) |
200mmを約4分/Φ200mmを約3分 (高速スキャン対応可能) |
マニュアル |
W900mm×D1,000mm×H1,757mm |
約500kg |
約1.5kW (100V) |
石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板 |
YGK |
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