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薄化ウェハデマウンター SDK-300取扱企業
秀和工業株式会社| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 本体 | 重量 (本体) | 対応ウェハサイズ | X軸ユニットストローク | Z軸ユニットストローク | ヒーター温度 | 吸着ヘッド用ヒーター | ヒーターステージ用ヒーター | 真空ポンプ (2基) | エアー |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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SDK-300 |
要見積もり |
幅800mm×奥行き1,100mm×高さ1,500mm |
500kg |
φ2"~φ6" |
190mm |
50mm |
~300℃ |
2,000w |
2,500w |
(1基) 200w |
0.4~0.6MPa |
