ウェハマウンター KBM-102
秀和工業株式会社

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この製品について

2連式・独立型エアシリンダを装備。安全面にも配慮したエアプレス。

特徴
◼︎独立型エアーシリンダー搭載
装置には2台のエアーシリンダーが配置され、各々が独立しています。 エアーシリンダーには最大φ6インチまで対応と最大φ4インチまで対応の2種類があり、自由な組み合わせも可能です。

◼︎素早く均一な厚さのボンディングを可能にする冷却機構
キャリアプレートに対しワークを加圧しながら冷却固定するので、素早く・均一な厚さにボンディングすることができます。冷却タンクはボンディング台の下部に収納されます。

◼︎万全の安全対策
2箇所の下降スイッチを両手で一定時間押し続けないとインターロックが作動して、加圧プレートが上昇する機構で、挟み込みによる事故を防止します。またオプションで、セーフティーカーテンも取り付けられます。

◼︎ボンディング台
装置本体はボンディング台に固定されます。上部はテーブルになっていますので、作業台として使用できます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ウェハマウンター KBM-102

取扱企業
秀和工業株式会社

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ウェハマウンター KBM-102 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	本体	重量 (本体)	ボンディングテーブル	重量 (ボンディングテーブル)	冷却タンク	重量 (冷却タンク)	シリンダ組合せ	理論推力 (空気圧0.7MPa時)	ストローク (mm)	ワークスペース (mm)	対応ウェハサイズ	X軸ユニットストローク	Z軸ユニットストローク	ヒーター温度	吸着ヘッド用ヒーター	ヒーターステージ用ヒーター	真空ポンプ (2基)	エアー
	KBM-102	要見積もり	幅800mm×奥行き1,100mm×高さ1,500mm	500kg	幅800×奥行き800×高さ650mm	50kg	幅900×奥行き410×高さ375mm	20kg	シリンダ (大1) (小1)	大：約3,000N 小：約1,500N	大：108 小：90	大：75 小：105	φ2"~φ6"	190mm	50mm	~300℃	2,000w	2,500w	(1基) 200w	0.4~0.6MPa