超音波流量計接液部オールフッ素樹脂による流量制御を実現分離型流量コントロールシステム FC6500シリーズ-FC6510-□□□/□

超音波流量計接液部オールフッ素樹脂による流量制御を実現分離型流量コントロールシステム FC6500シリーズ
東京計装株式会社

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この製品について

■概要C6500は分離型の流量コントロールシステムです。各種センサからの流量信号をアナログ入力で取り込み、目標値で流量が一定になるようバルブが動作します。

FC6500シリーズは、接液部がオールフッ素樹脂性のコントロール弁と流量コントローラで構成されております。流量コントロール弁：FCVシリーズ、流量コントローラ：FCA6500シリーズ。

コントロール弁のラインナップの充実により広範囲の流量制御が可能です。また、コントロール弁と制御部を分離することで、安全性を向上し、自由なレイアウトを可能としています。半導体プロセスをはじめとする各種薬液、純水のプロセス管理等に最適です。また、流量だけでなく制御対象を流量コントロール弁とした温度制御、圧力制御のコントロールシステムとしてもご使用いただけます。

■特長・安全性の向上、自由なレイアウトが可能：プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測制御部を分離することで液漏れなどに対する安全性が向上し、レイアウトも自由に選べます。
・広範囲の流量制御が可能：FCVシリーズは最小10〜100mL/minから最大1〜10L/minの流量範囲で制御できるコントロール弁をご用意しております。
・CEマーキング：EU EMC、RoHS2、低電圧指令に対応。 (EMC適合規格：EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013) 

■主要用途・薬液やDIWの供給量の設定：定量ポンプやタンクへの加圧により制御していたさまざまな薬液やDIWの供給ラインに流量コントロールシステムを設置することで、高精度かつ安定した供給量の制御が可能となります。
・濃度管理：薬液を純水等で希釈して一定濃度にする場合、薬液ラインと純水ラインに流量コントロールシステムを設置することで、安定した濃度管理が可能となります。
・分岐ラインの流量、圧力管理：メイン配管から分岐された各ラインにコントロールユニットを設置することで、ライン間の相互干渉の影響を受けずに安定した流量設定が可能となります。また、バイパスラインにコンロトール弁を配置し、メインラインの圧力制御にもご使用いただけます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
超音波流量計接液部オールフッ素樹脂による流量制御を実現分離型流量コントロールシステム FC6500シリーズ

取扱企業
東京計装株式会社

カテゴリ

ポンプ

フローコントローラー

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超音波流量計接液部オールフッ素樹脂による流量制御を実現分離型流量コントロールシステム FC6500シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	コントロール弁形式	コントロール弁口径	コントロール弁流量レンジ	コントロール弁流体温度	コントロール弁流体圧力	コントロール弁プロセス接続	コントロール弁駆動部	コントロール弁接続ケーブル	コントロール弁接液部材質	コントロール弁制御差圧範囲	コントロール弁使用周囲温度範囲	コントローラ形式	コントローラアナログ入力 (現在流量)	コントローラデジタル入力 (制御切替)	コントローラアナログ出力 (流量再出力)	コントローラデジタル出力 (警報)	コントローラ制御精度	コントローラ表示	コントローラ構造/取付	コントローラ電源	コントローラ消費電流	コントローラ表示桁、単位	コントローラ配線	コントローラコネクタ	コントローラケース材質・色	コントローラ周囲温度
	FC6510-□□□/□	要見積もり	FCV-3000	φ1/4”	最大 2L/min 最小 2.5mL/min	5~50℃	0.3MPa	PTFE、PFAチューブエンド	高分解能ステッピングモータ	多芯ケーブル外被材質PVC 長さ5m (標準)	PTFE、PFA	0.05~0.2MPa	5~50℃	FCA6510	DC4–20mA 入力インピーダンス：250Ω	無電圧接点入力短絡時ON：制御開始、解放時OFF：制御停止	DC1–5V 許容負荷抵抗：500kΩ以上	トランジスタ接点出力 (定格：DC30V，50mA) 論理：A接点 (NO) /B接点 (NC ) メーカ設定	現在流量 (PV) >30%FS：目標流量 (SP) の±3% 現在流量 (PV) ≦30%FS：目標流量 (SP) の±5% 応答時間 3秒以内 ※検出器からのアナログ入力が遅延なく更新されること	バックライト付16文字・2段LCD (液晶表示) 警報表示：赤色LED×1 動作表示：緑色LED×1	屋内配線 (IP20相当) /パネル取付	DC24V±10%	200mA スタート時：1A	X.XXX~XXXX (有効4桁) mL/min,L/min,L/h,%,kPa,℃ etc.	電源線 (接地線) 、バルブケーブル、各種信号線	バネ接続式分離型コネクタ 3P、5P、6P、10P	ABS・黒	0~50℃ (LCD除く)