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超音波流量計 超音波流量計変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現 流量コントロールシステム FC6000シリーズ-FC61□□-002-4M□□/□
超音波流量計 超音波流量計変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現 流量コントロールシステム FC6000シリーズ-東京計装株式会社

超音波流量計 超音波流量計変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現 流量コントロールシステム FC6000シリーズ
東京計装株式会社

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この製品について

FC6000は高精度超音波流量計を流量センサに採用した分離形の流量コントロールシステムです。流量コントローラFCA6000シリーズには超音波流量計変換部を内蔵しており、流量センサとコントロール弁の組合せでコンパクトなシステムを構成できます。コントロール弁:FCVシリーズ、超音波流量計検出器:UCUFシリーズ、流量コントローラ:FCA6000シリーズ。 流量センサ・コントロール弁のラインナップの充実により広範囲の流量制御が可能です。また、プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測・制御部を分離することで、安全性を向上し、自由なレイアウトを可能としています。半導体プロセスをはじめとする各種薬液の高度な流量管理等に最適です。

■特長

・耐気泡性能、流量計測安定性の向上:FCA6000シリーズは実績のある独自の信号処理技術により、感度が低下した場合でも流量計測を可能にしました。 ・安全性の向上、自由なレイアウトが可能:プロセス接続部の流量センサ・コントロール弁と計測制御部を分離することで液漏れなどに対する安全性が向上し、レイアウトも自由に選べます。 ・広範囲の流量制御が可能:FCA6000シリーズは最小2.5~25mL/minから最大1~10L/minの流量まで対応できます。 ・低消費電力:FCA6000シリーズは従来機種の変換器より消費電流を削減しました。 ・CEマーキング:EU EMC、RoHS2および低電圧指令に対応 (EMC適合規格:EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013) ・高耐食:UCUFシリーズの接液部は極めて耐食性の高いPFAおよびPTFEを採用し、半導体産業や薬液を扱う様々な産業での適用が可能です。

■主要用途

・薬液やDIWの供給量設定:定量ポンプやタンクへの加圧により制御していたさまざまな薬液やDIWの供給ラインに流量コントロールシステムを設置することで、高精度かつ安定した供給量の制御が可能となります。 ・濃度管理:薬液を純水等で希釈して一定濃度にする場合、薬液ラインと純水ラインに流量コントロールシステムを設置することで、安定した濃度管理が可能となります。 ・分岐ラインの流量管理:メイン配管から分岐された各ラインにコントロールユニットを設置することで、ライン間の相互干渉の影響を受けずに安定した流量設定が可能となります。

  • シリーズ

    超音波流量計 超音波流量計変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現 流量コントロールシステム FC6000シリーズ

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超音波流量計 超音波流量計変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現 流量コントロールシステム FC6000シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) コントロール弁 形式 コントロール弁 口径 コントロール弁 流量レンジ コントロール弁 流体温度 コントロール弁 流体圧力 コントロール弁 プロセス接続 コントロール弁 測定精度 コントロール弁 駆動部 コントロール弁 接続ケーブル コントロール弁 制御差圧範囲 コントロール弁 使用周囲温度範囲 超音波流量計検出器 形式 超音波流量計検出器 最大流量レンジ 超音波流量計検出器 公称口径 超音波流量計検出器 接続口径 超音波流量計検出器 精度 超音波流量計検出器 流体温度 超音波流量計検出器 接液部材質 超音波流量計検出器 構造 超音波流量計検出器 接続ケーブル コントローラ 形式 コントローラ 出力信号 コントローラ 入力信号 コントローラ 制御精度 コントローラ 表示 コントローラ 構造/取付 コントローラ 電源 コントローラ 消費電流 コントローラ 配線 コントローラ コネクタ
超音波流量計 超音波流量計変換器一体形コントローラによりコンパクトなシステムを実現 流量コントロールシステム FC6000シリーズ-品番-FC61□□-002-4M□□/□

FC61□□-002-4M□□/□

要見積もり

FCV-3000

φ1/4”

最大 2L/min
最小 2.5mL/min

5~50℃

0.3MPa max.

PTFE、PFAチューブエンド

±1% (流速1m/s以上)
±0.01m/s以内 (流速1m/s未満)

高分解能ステッピングモータ

多芯ケーブル 外被材質PVC 長さ5m (標準)

0.05~0.2MPa

5~50℃

UCUF-04M

2L/min

4mm

φ1/4”

流速1m/s以上:指示値の±1%
流速1m/s未満:±0.01m/s以内

10~90℃

PFAチューブエンド

防噴流形 (IP65)

同軸ケーブル (2本 ) 外被材質PVC 長さ5m (標準)

FCA6100

流量信号、流量警報、動作警報、パルス出力

目標流量、制御開始/停止、積算リセット、センサ

流量>30%FS:目標値の±3%、流量≦30%FS:目標値の5%
応答時間3秒以内

バックライト付16文字・2段LCD (液晶表示)
警報表示:赤色LED×1
動作表示:緑色LED×1

屋内配線 (IP20相当) /パネル取付

DC24V±10%

200mA スタート時:1A

電源線、接地線、各種信号線、センサケーブル (2本) 、バルブケーブル

バネ接続式分離型コネクタ 5P、10P、3P、6P

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会社概要

東京計装株式会社は、1954年に設立された計測機器製造メーカーです。
東京都港区に本社を置き、大阪支店や名古屋営業所、北九州営業所などの国内拠点を設けるほか、中国・韓国やシンガポールなどに海外拠点を設けています。...

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  • 本社所在地: 東京都
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