超音波流量計超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC🄬300シリーズ-CLFC300-T1□-□-□-□□□

超音波流量計超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC🄬300シリーズ
東京計装株式会社

東京計装株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

6.9時間

企業レビュー

4.5

返信の早い企業

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要CLFC🄬300シリーズは、超音波流量計検出器、コントロール弁、流量演算およびバルブ制御を行う回路部を一体化した流量コントローラです。目標流量に極めて速いスピードで追随させることが出来る制御機能を搭載しており、薬液の定量供給、DIWの流量制御、スラリー流体の一定値制御など、半導体装置で要求される様々な液体のコントロール用としてお使いいただけます。

■特長・制御性向上：従来の演算処理を改良し、さらに気泡耐性を向上させました。流量計測の安定性も向上しました。
・制御性向上：ステップ応答性能としては最新の演算回路により極めて速い応答性を実現し、設定値に対して1.5秒以内の制御速度を実現しました。
・2種類のバルブタイプ選択可能：薬液やDIW用としてニードルバルブ、スラリー流体に対してはピンチチューブバルブを取り揃えています。
・小型軽量化：超音波流量計検出器、コントロール弁、回路部を小型のケースに収納しており、装置内への取り付けに際して省スペースを実現しました。構造を再設計し従来品をさらにコンパクト化しました。 (20%ダウン) 小型化に伴い重量も削減しました。 (35%ダウン) 
・省配線・配管：設置に際しては、流体入口・出口の継ぎ手を接続することと、電気配線を多芯ケーブルで行うのみであり、複雑な配管・配線が不要です。
・環境対応：消費電流を削減しました。 (実測値35%ダウン) RoHSに対応した部品で構成されています。
・高耐食：接液部にはPFA およびPTFEという極めて耐食性の高い材料を採用し、半導体産業や薬液を扱う様々な産業での適用が可能です。
・EMC適合：EN61326-1:2006

■主な用途・薬液やDIWの供給流量の設定：定量ポンプやタンクへの加圧により制御していた様々な薬液やDIWの供給ラインにCLFC🄬300を設置することにより、高精度かつ安定した供給液体量の制御が可能となります。
・濃度管理：薬液を純水等で希釈して一定濃度の制御する場合、薬液と純水ラインにCLFC🄬300を設置することで、高度な濃度制御・濃度管理が可能となります。
・スラリー流体の安定供給：CMP装置の各種スラリー供給ラインにCLFC🄬300を設置することによりスラリーの安定供給・定量供給が可能となり、使用液体の無駄を防止することが可能となります。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
超音波流量計超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC🄬300シリーズ

取扱企業
東京計装株式会社

カテゴリ

ポンプ

フローコントローラー

企業レビュー 4.5

Metoree経由で見積もり

2025年3月25日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対応はが早かった。

初回対応までの時間への満足度

0.74時間

Metoree経由で見積もり

2025年2月7日にレビュー済み

顧客対応への満足度

迅速な返信、的確な質問と回答

初回対応までの時間への満足度

0.44時間

この商品に関する問題を報告する

20人以上が見ています

返答率: 100.0%

返答時間: 6.9時間

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

フローコントローラー注目ランキング

フローコントローラーの製品48点中、注目ランキング上位6点

新機構型精密ニードルバルブスーパーニードル

株式会社フロント

1000人以上が見ています

最新の閲覧: 3時間前

自動制御バルブ FAVSKシリーズ

株式会社フロント

450人以上が見ています

最新の閲覧: 13時間前

液体用フローコントローラー

日本スターテクノ株式会社

290人以上が見ています

最新の閲覧: 6分前

エアフローと差圧の計測 PIDコントローラ A2G-100

ビカ・ジャパン株式会社

250人以上が見ています

圧力や空気の流れを制御流量 (圧力) コントローラー DPT-Ctrl-2SPシリーズ

株式会社クローネ

4.5 企業レビュー

240人以上が見ています

流量を自動で制御流量コントローラー (流量調整・自動制御) FCV

株式会社リガルジョイント

180人以上が見ています

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

フローコントローラー注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

液体用フローコントローラー

日本スターテクノ株式会社

290人以上が見ています

最新の閲覧: 6分前

返答時間: 8.94時間

エアフローと差圧の計測 PIDコントローラ A2G-100

ビカ・ジャパン株式会社

250人以上が見ています

返答時間: 10.81時間

圧力や空気の流れを制御流量 (圧力) コントローラー DPT-Ctrl-2SPシリーズ

株式会社クローネ

4.5 企業レビュー

240人以上が見ています

返答時間: 8.60時間

容積計量バルブ JUSTROPUMP専用デジタル制御ポンプコントローラ PUMP MASTER

武蔵エンジニアリング株式会社

5.0 企業レビュー

160人以上が見ています

返答時間: 3.66時間

2流体スプレーデジタル制御スプレーコントローラ SPRAY MASTER

武蔵エンジニアリング株式会社

5.0 企業レビュー

140人以上が見ています

返答時間: 3.66時間

コーティングバルブ CV-15専用バルブコントローラー ME-5000CV

武蔵エンジニアリング株式会社

5.0 企業レビュー

120人以上が見ています

返答時間: 3.66時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

見積もりの使い方

超音波流量計超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC🄬300シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定対象	口径	流量レンジスラリー用 (ピンチチューブバルブ)	流量レンジ純水、薬液用 (ニードルバルブ)	流体温度	流体圧力	プロセス接続	測定精度	電源	消費電流	突入電流	適合規格及びEMC適合	使用周囲温度/湿度	音速範囲	流体動粘度	流量計精度	コントロール精度	入力変換誤差	応答速度	制御差圧範囲	アナログ入出力信号	表示	接点出力	ゼロ調整	接液部材質	ケース材質	保護等級	質量
	CLFC300-T1□-□-□-□□□	要見積もり	液体全般 (安定した計測には、液体に気泡を含まないこと。)	φ1/4	50~500mL/min	最大 200~2,000mL/min 最小 5~50mL/min	10~50℃	0.4MPa max.	Pillar S300 (標準) 、Flare	アナログ出力付加誤差：±0.2% (F.S.)	24VDC (±10%)	Max200mA	1.5A以下	RoHS対応 EMC規格適合：EN61326-1:2006	5~50℃ (30~80%RH、結露なきこと)	1,000~2,200m/s	0.3~40mm²/s	流量800mL/min以上=±1% (R.D.) 流量800mL/min未満=±8mL/min以内 (フルスケール50mL/min以下の場合±2mL/min以内) ※精度は水による実竜校正に対するもの。	設定値に対し±1.5% (R.D.)	アナログ設定入力変換誤差：±0.2% (F.S.)	ニードルタイプ：設定値の±3.0%に1.5秒以内 (代表値) ピンチタイプ：設定値の±1.5%に1.5秒以内 (代表値)	ニードルタイプ：0.05~0.3MPa ピンチタイプ：0.05~0.2MPa	セットポイント入力および流量信号出力の2点。 0-10V：入力インピーダンス 980kΩ、出力負荷抵抗 500kΩ以上 4-20mA：入力インピーダンス 250Ω、出力負荷抵抗 600Ω以内	電源表示：緑LED 流量計ステータス：緑LED バルブステータス：緑LED	オープンコレクタ2接点 (標準：ノーマルオープン) 定格：DC30V,50mA (MAX) バルブ異常時・流量異常時	接点入力 (電源 (+) 側に短絡/開放)	PFA、PTFE (ピンチチューブ)	PVDF	IP20 (基盤収納部IP54相当)	約1.3kg (ケーブル含む) 本体：約1kg