超音波流量計超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC🄬300シリーズ-CLFC300-T1□-□-□-□□□

超音波流量計超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC🄬300シリーズ
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この製品について

■概要CLFC🄬300シリーズは、超音波流量計検出器、コントロール弁、流量演算およびバルブ制御を行う回路部を一体化した流量コントローラです。目標流量に極めて速いスピードで追随させることが出来る制御機能を搭載しており、薬液の定量供給、DIWの流量制御、スラリー流体の一定値制御など、半導体装置で要求される様々な液体のコントロール用としてお使いいただけます。

■特長・制御性向上：従来の演算処理を改良し、さらに気泡耐性を向上させました。流量計測の安定性も向上しました。
・制御性向上：ステップ応答性能としては最新の演算回路により極めて速い応答性を実現し、設定値に対して1.5秒以内の制御速度を実現しました。
・2種類のバルブタイプ選択可能：薬液やDIW用としてニードルバルブ、スラリー流体に対してはピンチチューブバルブを取り揃えています。
・小型軽量化：超音波流量計検出器、コントロール弁、回路部を小型のケースに収納しており、装置内への取り付けに際して省スペースを実現しました。構造を再設計し従来品をさらにコンパクト化しました。 (20%ダウン) 小型化に伴い重量も削減しました。 (35%ダウン) 
・省配線・配管：設置に際しては、流体入口・出口の継ぎ手を接続することと、電気配線を多芯ケーブルで行うのみであり、複雑な配管・配線が不要です。
・環境対応：消費電流を削減しました。 (実測値35%ダウン) RoHSに対応した部品で構成されています。
・高耐食：接液部にはPFA およびPTFEという極めて耐食性の高い材料を採用し、半導体産業や薬液を扱う様々な産業での適用が可能です。
・EMC適合：EN61326-1:2006

■主な用途・薬液やDIWの供給流量の設定：定量ポンプやタンクへの加圧により制御していた様々な薬液やDIWの供給ラインにCLFC🄬300を設置することにより、高精度かつ安定した供給液体量の制御が可能となります。
・濃度管理：薬液を純水等で希釈して一定濃度の制御する場合、薬液と純水ラインにCLFC🄬300を設置することで、高度な濃度制御・濃度管理が可能となります。
・スラリー流体の安定供給：CMP装置の各種スラリー供給ラインにCLFC🄬300を設置することによりスラリーの安定供給・定量供給が可能となり、使用液体の無駄を防止することが可能となります。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
超音波流量計超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC🄬300シリーズ

取扱企業
東京計装株式会社

カテゴリ

ポンプ

フローコントローラー

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超音波流量計超音波流量計を計測部に採用し、フィードバックコントロールを可能にする一体型流量コントローラ CLFC🄬300シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	測定対象	口径	流量レンジスラリー用 (ピンチチューブバルブ)	流量レンジ純水、薬液用 (ニードルバルブ)	流体温度	流体圧力	プロセス接続	測定精度	電源	消費電流	突入電流	適合規格及びEMC適合	使用周囲温度/湿度	音速範囲	流体動粘度	流量計精度	コントロール精度	入力変換誤差	応答速度	制御差圧範囲	アナログ入出力信号	表示	接点出力	ゼロ調整	接液部材質	ケース材質	保護等級	質量
	CLFC300-T1□-□-□-□□□	要見積もり	液体全般 (安定した計測には、液体に気泡を含まないこと。)	φ1/4	50~500mL/min	最大 200~2,000mL/min 最小 5~50mL/min	10~50℃	0.4MPa max.	Pillar S300 (標準) 、Flare	アナログ出力付加誤差：±0.2% (F.S.)	24VDC (±10%)	Max200mA	1.5A以下	RoHS対応 EMC規格適合：EN61326-1:2006	5~50℃ (30~80%RH、結露なきこと)	1,000~2,200m/s	0.3~40mm²/s	流量800mL/min以上=±1% (R.D.) 流量800mL/min未満=±8mL/min以内 (フルスケール50mL/min以下の場合±2mL/min以内) ※精度は水による実竜校正に対するもの。	設定値に対し±1.5% (R.D.)	アナログ設定入力変換誤差：±0.2% (F.S.)	ニードルタイプ：設定値の±3.0%に1.5秒以内 (代表値) ピンチタイプ：設定値の±1.5%に1.5秒以内 (代表値)	ニードルタイプ：0.05~0.3MPa ピンチタイプ：0.05~0.2MPa	セットポイント入力および流量信号出力の2点。 0-10V：入力インピーダンス 980kΩ、出力負荷抵抗 500kΩ以上 4-20mA：入力インピーダンス 250Ω、出力負荷抵抗 600Ω以内	電源表示：緑LED 流量計ステータス：緑LED バルブステータス：緑LED	オープンコレクタ2接点 (標準：ノーマルオープン) 定格：DC30V,50mA (MAX) バルブ異常時・流量異常時	接点入力 (電源 (+) 側に短絡/開放)	PFA、PTFE (ピンチチューブ)	PVDF	IP20 (基盤収納部IP54相当)	約1.3kg (ケーブル含む) 本体：約1kg