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ガス加熱器製品 加熱フィルタ【VF-0201N】-VF-0201N
ガス加熱器製品 加熱フィルタ【VF-0201N】-株式会社リンテック

ガス加熱器製品 加熱フィルタ【VF-0201N】
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

0.1μmのフィルタとヒータを一体化した高温フィルタ。 半導体製造工程の液化ガスでの使用を前提とした設計で、接ガス部材は全てSUS316L。リンテック独自の低圧損構造。

■特長

・0.1µmのろ過精度 ・Max200℃ ・オールメタルのクリーン構造

■使用例

気化システム後方に設置することで製品欠陥に繋がるバーティクルやミストを除去する加熱フィルタです。

■シリーズ概要

VFシリーズは、気化システム後方に設置することでパーティクルやミストを除去する加熱フィルタです。

■シリーズ特徴

・0.1μmのろ過精度 ・Max200℃の加熱に対応 ・オールメタルのクリーン構造 ・異常加熱検出用サーマルスイッチ内蔵

  • シリーズ

    ガス加熱器製品 加熱フィルタ【VF-0201N】

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ガス加熱器製品 加熱フィルタ【VF-0201N】 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 圧力損失 耐圧 最大消費電力 (120V) 最大消費電力 (240V) 熱電対 推奨温調方式 最高使用温度 サーマルスイッチ リークレート 接ガス部材質 取付姿勢 重量
ガス加熱器製品 加熱フィルタ【VF-0201N】-品番-VF-0201N

VF-0201N

要見積もり

1.33kPa (500SCCM N2)

1MPa (G)

400W

400W

K Type 1pc

PID

200℃

230℃±10℃ Open

1×10-11Pa・m3/sec He

SUS316L

自由

4.0kg

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ガスフィルターをフィルターから探すことができます

使用用途

#排気処理 #計測機器保護 #半導体製造 #化学反応制御

分離対象

酸性ガス対応 塩基性ガス対応 有機ガス対応 温室効果ガス対応

吸着方式

活性炭型 ハイブリッド型

特殊機能

高温耐性型 高湿度耐性型 超高純度型 長寿命型

濾過精度 µm

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 3,000

流量 L/min

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 50,000

最高使用圧力 MPa

0 - 1 1 - 10 10 - 20 20 - 25

最高使用温度 ℃

-50 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 500

最大許容差圧 MPa

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20

重量 kg

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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