気化器 (直接気化方式) ノンキャリア気化器ノンキャリア気化器
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明キャリガスを必要としないクリーンなノンキャリ気化器VU-3000。

流量制御された液体を気化室入口のメッシュフィルターに拡散。ノンキャリアでも安定的な液体気化供給。

気化器最高温度200℃まで設定可能でH2Oをはじめ様々な液体原料のノンキャリア気化供給を実現。

■特長・ノンキャリア
・メンテナンス性

使用例
■アッシング、洗浄アッシング (酸化) などの洗浄でH2Oは一般的ですが、ノンキャリで供給するには高温用マスフローコントローラによるベーキング方式が一般的です。しかし、ベーキング方式は二次側条件 (減圧) や供給量の制限があります。H20：5g/min (6.2SLM) の流量を二次圧条件に関わらずノンキャリで供給可能です。

■H2Oガスによる大気圧評価大気圧条件でも気化器に導入したH2O (液相) を瞬時に気化可能なVU-3000であれば、液体マスフローコントローラで流量制御、気化器に導入する事でH2Oガス発生量を精密に制御可能です。燃料電池など大気条件でのH2Oガスを使用する評価に使用可能です。

■シリーズ概要・VU-3000シリーズは、キャリアガスを必要としない、各種液体材料のみを気化供給することが出来る気化器です。
・LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。

■シリーズ特徴・制御バルブ搭載により、精密制御された液体を気化供給
・Max200℃のコンパクト設計により、様々な液体材料の気化供給に最適
・制御された液体が加熱されたメッシュフィルタに拡散され、効率よく気化
・耐久性、シール性に優れたシール材を使用することで、メンテナンス性が向上

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
気化器 (直接気化方式) ノンキャリア気化器ノンキャリア気化器

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

加工・工作機器

気化器

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気化器 (直接気化方式) ノンキャリア気化器ノンキャリア気化器品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大気化流量 (TEOS)	必要差圧	耐圧	バルブ動作	最大消費電力 (120V)	最大消費電力 (240V)	熱電対	推奨温調方式	最高使用温度	サーマルスイッチ	リークレート	接液部材質	取付姿勢	重量
	VU-3000	要見積もり	5g/min	250~300kPa	1MPa (G)	ノーマリクローズ	・Inner:625W ・Outer:417W	・Inner:900W ・Outer:600W	K Type 2pcs	PID	200℃	270℃±10℃ Open	5×10-6Pa･m3/sec He	SUS316L,カルレッツ®,ポリイミド,Au	空圧アクチュエータ上方、配管ライン水平	5kg