気化器 (直接気化方式) ノンキャリア気化器小型ノンキャリア気化-VU-3100N

気化器 (直接気化方式) ノンキャリア気化器小型ノンキャリア気化
株式会社リンテック

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この製品について

■製品説明ピエゾアクチュエータ搭載の小型ノンキャリア気化気化器。

微小流量の制御と高速応答が可能なピエゾアクチュエータコントロールバルブが気化室直近で液体流量を制御。

流量制御された液体がメッシュフィルタに拡散され、気化室で加熱される事で微小流量でも安定的な気化を実現。

■特長・ノンキャリア気化
・微小流量気化
・バルブ近接
・省スペース
・メンテナンス性

使用例
■TEOSのノンキャリ気化高温MFCをベースとしたノンキャリア気化は、気化量が少ないという欠点がありました。リンテック独自のノンキャリ構造であるVU-3100は、小型でありながらTEOS：5g/min (538SCCM) のノンキャリア気化供給が可能です。

■シリーズ概要・VU-3000シリーズは、キャリアガスを必要としない、各種液体材料のみを気化供給することが出来る気化器です。
・LM-3000Lシリーズと組み合わせることで、液体の気化制御が可能です。

■シリーズ特徴・制御バルブ搭載により、精密制御された液体を気化供給
・Max200℃のコンパクト設計により、様々な液体材料の気化供給に最適
・制御された液体が加熱されたメッシュフィルタに拡散され、効率よく気化
・耐久性、シール性に優れたシール材を使用することで、メンテナンス性が向上

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
気化器 (直接気化方式) ノンキャリア気化器小型ノンキャリア気化

取扱企業
株式会社リンテック

カテゴリ

加工・工作機器

気化器

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気化器 (直接気化方式) ノンキャリア気化器小型ノンキャリア気化品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	最大気化流量 (H2O)	必要差圧	耐圧	バルブ動作	最大消費電力 (120V)	最大消費電力 (240V)	熱電対	推奨温調方式	最高使用温度	サーマルスイッチ	リークレート	接液部材質	取付姿勢	重量
	VU-3100N	要見積もり	5g/min	50~300kPa	1MPa (G)	ノーマリオープン	150W	150W	K Type 1pcs	PID	150℃	180℃±10℃ Open	5×10-10Pa･m3/sec He	SUS316L,PEEK®,Ni-Co,PTFE,Au	コネクタ上方、配管ライン水平	600g