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気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 石英気化器-QVシリーズ
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 石英気化器-株式会社リンテック

気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 石英気化器
株式会社リンテック



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この製品について

■製品説明

メタルフリーの高効率石英気化器QV-1000。 接液部の構造材料に石英ガラスを採用したメタルフリー (金属不使用) 気化器。金属汚染 (メタルコンタミネーション) の懸念を排除した気化が可能な気化器。 二流体ノズルとギャップ構造により、最大H2O換算15g/minの高効率の安定気化が実現。

■特長

・メタルフリー ・高効率気化 ・バルブレス 使用例

■超純水などメタルコンタミ可能性がある液体の気化

H2Oを金属接液部分を通過すると金属汚染が懸念されます。そこで接液部分の構造部を石英にする事でメタルフリーの石英気化器ならメタルコンタミ (金属汚染) フリーの気化供給が可能です。

■シリーズ概要

QVシリーズは、接液部の構成材質に石英ガラスを採用した気化器です。メタルフリー (金属不使用) とすることによって、金属汚染 (メタルコンタミネーション) の懸念を排除した気化が可能です。

■シリーズ特徴

・接液部に石英ガラスを採用した、メタルフリー気化器 ・ステンレスでは不可能だった薬液でも使用可能 ・ダブルオリフィスノズルにより噴霧された液体は、インナブロック、アウタブロックのギャップ構造により効率よく気化 ・気化能力は、H2O 15g/minを確保

  • シリーズ

    気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 石英気化器

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気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 石英気化器 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大気化流量 (H2O) キャリアガス流量 (01) 耐圧 最大消費電力 (240V) 熱電対 推奨温調方式 最高使用温度 サーマルスイッチ リークレート 接液部材質 継手 取付姿勢 重量
気化器 (直接気化方式) キャリアガス気化器 石英気化器-品番-QVシリーズ

QVシリーズ

要見積もり

15g/min

N2 10SLM

200kPa・A

3,400W

K Type 2pcs

PID

200℃

・Inner block:270℃±10℃ Open
・Outer block:270℃±10℃ Open

5×10-4Pa・m3/sec He

石英ガラス (電気溶融低アルカリ品)

NW16 Glass Flange

プリカーサ入口上方、配管ライン水平

12kg

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社リンテックは、1987年からマスフローコントローラ(流量制御機器)、気化器、熱交換器など、半導体製造装置や分析装置向けの流体制御機器を製造販売するメーカーです。

気体・液体マスフローコントローラ...

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  • 本社所在地: 滋賀県
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